[发明专利]具有用于锚固接触端子的多孔半导体区域的光伏电池、电解和蚀刻模块以及相关生产线

摘要

本公开涉及具有用于锚固接触端子的多孔半导体区域的光伏电池、电解和蚀刻模块以及相关生产线。提出了一种光伏电池，所述光伏电池包括由半导体材料构成的基板以及多个接触端子，所述接触端子中的每一个布置在所述基板的对应接触区上，以收集由光在所述基板内产生的电荷。对于所述接触中的至少一，所述基板包括至少一个从所述接触区延伸到所述基板内的用于将整个对应的接触端子锚固到所述基板上的多孔半导体区域。在根据本发明的实施例的解决方案中，每一个多孔半导体区域的孔隙度随着背离接触区向基板内移动而减小。还提出了用于处理光伏电池的一种蚀刻模块和一种电解模块、一种用于制造光伏电池的生产线以及一种用于制造光伏电池的过程。

主权项

一种光伏电池(100)，包括由半导体材料制成的基板(105；105')和多个接触端子(Tf，Tb)，每个接触端子布置在所述基板的对应接触区(122)上以收集通过光在所述基板内产生的电荷，对于所述接触区中的至少一个，所述基板包括从该接触区延伸到所述基板内的至少一个多孔半导体区域(125，130)，以用于将整个对应的接触端子锚固到所述基板上，其中每一个多孔半导体区域具有随着远离接触区朝向基板内移动而降低的孔隙度。