[发明专利]具有用于锚固接触端子的多孔半导体区域的光伏电池、电解和蚀刻模块以及相关生产线

权利要求书

1.一种光伏电池(100)，包括由半导体材料制成的基板(105；105')和多个接触端子(Tf，Tb)，每个接触端子布置在所述基板的对应接触区(122)上以收集通过光在所述基板内产生的电荷，对于所述接触区中的至少一个，所述基板包括从该接触区延伸到所述基板内的至少一个多孔半导体区域(125，130)，以用于将整个对应的接触端子锚固到所述基板上，其中

每一个多孔半导体区域具有随着远离接触区朝向基板内移动而降低的孔隙度。

2.根据权利要求1所述的光伏电池(100)，其中所述孔隙度从接触区(122)处的70％-90％降低至基板(105，105')中最大深度处的10％-30％。

3.根据权利要求1或2所述的光伏电池(100)，其中，每一个多孔半导体区域(125，130)的厚度低于1μm，对应的接触端子(Tf，Tb)穿透到所述多孔半导体区域(125，130)的区域的整个厚度内。

4.根据权利要求1所述的光伏电池(100)，其中，每一个多孔半导体区域(125，130)包括接近对应的接触区(122)的具有逐渐减小的孔隙度的外层(325e)和远离对应的接触区的具有均匀的孔隙度的内层(325i)。

5.根据权利要求4所述的光伏电池(100)，其中，所述外层(325e)的孔隙度从最大值减小到最小值，并且其中，所述内层(325i)的孔隙度被包含于所述最大值和所述最小值之间。

6.根据权利要求4或5所述的光伏电池(100)，其中，所述内层(325i)比所述外层(325e)厚。

7.根据权利要求6所述的光伏电池(100)，其中所述内层(325i)的厚度等于所述外层(325e)的厚度的1.5-6倍。

8.根据权利要求1所述的光伏电池(100)，其中每一个接触区(122)的所述至少一个多孔半导体区域(125，130)是在接触区(122)的整个表面上延伸的遍布所述表面具有均匀的孔隙度的单个多孔半导体区域(125，130)。

9.根据权利要求1所述的光伏电池(100)，其中每一个接触区(122)的所述至少一个多孔半导体区域(125，130)包括遍布所述接触区(122)均匀分布的多个多孔半导体区域。

10.根据权利要求1所述的光伏电池(100)，其中，每一个接触区(122)的所述至少一个多孔半导体区域(125，130)具有随着从其边界向接触区内移动而减小的孔隙度。

11.根据权利要求10所述的光伏电池(100)，其中每一个接触区(122)的所述至少一个多孔半导体区域(125，130)的孔隙度从在接触区的边界处的最大值降低至在其中心处的等于所述最大值的10％-50％的最小值。

12.根据权利要求10或11所述的光伏电池(100)，其中，每一个接触区(122)的所述至少一个多孔半导体区域(125,130)包括多个多孔半导体区域，所述多个多孔半导体区域的浓度和/或尺寸随着从其边界向接触区内移动而减小。

13.根据权利要求1所述的光伏电池(100)，其中所述基板(105；105')具有用于吸收光的正面，所述至少一个接触区(122)包括所述正面的至少一个正面接触区(122)以用于对应的至少一个正面接触端子(Tf)，所述至少一个正面接触区(122)和所述至少一个正面接触端子(Tf)具有平的轮廓。

14.根据权利要求1所述的光伏电池(100)，其中所述基板(105；105')具有20-100μm的厚度。