[发明专利]一种光学测量台架装置

摘要

本发明涉及一种光学测量台架装置，该台架结构从上至下包括均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。该台架装置解决了夏克‑哈特曼传感器、双光栅剪切干涉等检测系统的结构调整困难的问题，并且具有一定范围的调节行程，兼容不同焦距的透镜组。该台架装置中心留有较大的安装孔，通过转接法兰，兼容不同直径的镜头，且设计布局开放，便于拆卸及集成安装。

主权项

1.一种光学测量台架装置，其特征在于，该台架装置的结构从上至下包括：均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座，其中，平板支撑结构2上具有透镜部件及多个各类型的位移传感器，该层包括平板7和第一梁15、第二梁20；平板7中心开圆孔，经法兰环17安装透镜9，透镜9正上方为掩膜支撑架8，其上用于换装不同图形掩膜，掩膜支撑架8正下方为Z向电容传感器支架24，在Z向电容传感器支架24的圆周方向均匀地装有第一Z向电容传感器25、第二Z向电容传感器26、第三Z向电容传感器27；平板7下方挂有第一X向电容传感器35、第二X向电容传感器37，所述第一X向电容传感器35、第二X向电容传感器37通过X向电容传感器支架36与平板7相连，同样，第一Y向电容传感器32、第二Y向电容传感器34分别通过第一Y向电容传感器支架31、第二Y向电容传感器支架33与平板7相连；平板7下方挂有第一干涉仪28、第二干涉仪38、第三干涉仪40、以及相关第一光路元件29、第二光路元件30、第三光路元件39，其中，第一干涉仪28、第一光路元件29经由第一干涉仪支架12与平板7相连，第二干涉仪38、第二光路元件30经由第二干涉仪支架18与平板7相连，第三干涉仪40、第三光路元件39经由第三干涉仪支架19与平板7相连，第一干涉仪光路元件42、第二干涉仪光路元件43经由干涉仪光路元件支架41与干涉仪光源支架22相连，干涉仪光源44直接安装到干涉仪光源支架22，干涉仪光源支架22与平板7相连；第一干涉仪光源调节柱13、第二干涉仪光源调节柱14、第三干涉仪光源调节柱23用于调整干涉仪光源44的空间位置；整个平板支撑结构2通过第一调节柱6、第二调节柱10、第三调节柱16、第四调节柱21与下层支撑框架3相连。