[发明专利]一种光学测量台架装置

权利要求书

1.一种光学测量台架装置，其特征在于，该台架装置的结构从上至下包括：均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座，其中，

平板支撑结构2上具有透镜部件及多个各类型的位移传感器，该层包括平板7和第一梁15、第二梁20；平板7中心开圆孔，经法兰环17安装透镜9，透镜9正上方为掩膜支撑架8，其上用于换装不同图形掩膜，掩膜支撑架8正下方为Z向电容传感器支架24，在Z向电容传感器支架24的圆周方向均匀地装有第一Z向电容传感器25、第二Z向电容传感器26、第三Z向电容传感器27；平板7下方挂有第一X向电容传感器35、第二X向电容传感器37，所述第一X向电容传感器35、第二X向电容传感器37通过X向电容传感器支架36与平板7相连，同样，第一Y向电容传感器32、第二Y向电容传感器34分别通过第一Y向电容传感器支架31、第二Y向电容传感器支架33与平板7相连；平板7下方挂有第一干涉仪28、第二干涉仪38、第三干涉仪40、以及相关第一光路元件29、第二光路元件30、第三光路元件39，其中，第一干涉仪28、第一光路元件29经由第一干涉仪支架12与平板7相连，第二干涉仪38、第二光路元件30经由第二干涉仪支架18与平板7相连，第三干涉仪40、第三光路元件39经由第三干涉仪支架19与平板7相连，第一干涉仪光路元件42、第二干涉仪光路元件43经由干涉仪光路元件支架41与干涉仪光源支架22相连，干涉仪光源44直接安装到干涉仪光源支架22，干涉仪光源支架22与平板7相连；第一干涉仪光源调节柱13、第二干涉仪光源调节柱14、第三干涉仪光源调节柱23用于调整干涉仪光源44的空间位置；整个平板支撑结构2通过第一调节柱6、第二调节柱10、第三调节柱16、第四调节柱21与下层支撑框架3相连。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述均匀照明系统包括光束变换元件，所述均匀照明系统通过光源传输模块支架与平板相连，用于提高光源光能分布的均匀性和光束的稳定性。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述平板支撑结构包括透镜部件及多个位移传感器，所述平板支撑结构在X、Y、Z、θx、θy五个自由度上实现调节。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述下层支撑框架包括基础框架，其底部具有四个高度水平位移调节块，所述四个高度水平位移调节块分别与最下层可移动气浮基座的螺栓相连接，所述下层支撑框架的中部具有四个加强筋块，其都与最下层可移动气浮基座相连接。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位移台在X、Y两自由度宏动、在X、Y、Z、θx、θy、θz六自由度微动，用于运载图像采集模块采集不同位置的成像，所述位移台直接安装于可移动气浮基座上。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述可移动气浮基座用于承载整个检测系统，其包括基座，在基座之上具有四个气浮隔振器，在所述可移动气浮基座的底部具有四支万向轮。