[发明专利]沉积装置及利用其的发光显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201710111818.4 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN107151781B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 郑兴铁;金东昱;郑成镐 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了沉积装置和利用该沉积装置的发光显示装置的制造方法。作为示例，沉积装置包括：坩埚，配置成沿着第一方向延伸，并且其上部具有开口部以将沉积物质容纳在其内部空间中；加热部件，布置于坩埚的侧部并对坩埚进行加热；盖，覆盖坩埚的开口部；以及多个喷嘴，从盖朝着上方突出并且在盖上沿着第一方向布置，其中，多个喷嘴分别具有一对槽，一对槽从上端沿着侧壁以一定深度形成，并且一对槽布置成彼此相对。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 利用 发光 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
沉积装置，包括：坩埚，配置成沿着第一方向延伸，并且所述坩埚的上部具有开口部以将沉积物质容纳在所述坩埚的内部空间中；加热部件，布置于所述坩埚的侧部，并且对所述坩埚进行加热；盖，覆盖所述坩埚的所述开口部；以及多个喷嘴，从所述盖朝着上方突出，并且在所述盖上沿着所述第一方向布置，其中，所述多个喷嘴分别具有一对槽，所述一对槽从所述喷嘴的上端沿着侧壁以一定深度形成，并且所述一对槽布置成彼此相对。
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