[发明专利]薄透明介质性质非接触测量仪

摘要

本发明为光学元件非接触测量装置，内容涉及光学(激光、迈克尔逊干涉仪)、数字成像(CCD成像)、信号传感器(光敏电阻)、机械(步进电机和齿轮)、软件程序。为一般厚度的透明介质提供的一款高精度的测量仪。仪器分为两层，上层光学部，安放了精密的光学元件和测量器件，下层为驱动部，安放了步进电机和处理器及控制电路。仪器有两个插口，将待测物先后装入两个口进行操作与测量。操作员可按照显示器的提示一步步地进行操作，最终得到精确的测量数据。

主权项

一种以迈克尔逊干涉仪为主体的测量仪，包括激光源、半反半透镜、第一平面镜、第二平面镜、步进电机、小齿轮、大齿轮、数字成像板、光强探测器、第一垂直插槽、第二垂直插槽、减震隔离板、处理器和显示屏，其特征是步进电机驱动小齿轮，小齿轮带动大齿轮，激光出射口安放有中央带孔的数字成像板，光路经过第一垂直插槽上方，经过半反半透镜，之后分束，一路透射光、一路反射光：其中一路经过连接在大齿轮上的第二垂直插槽上方，遇第一平面镜反射后原路返回，经过第二垂直插槽上方，透过半反半透镜成像在光强探测器中央；另一路遇第二平面镜后反射原路返回，由半反半透镜反射成像在光强探测器中央，处理器连接步进电机、光强探测器、数字成像板和显示屏进行信息传输，减震隔离板将步进电机与其他光学元件隔开。