[发明专利]薄透明介质性质非接触测量仪

权利要求书

1.一种以迈克尔逊干涉仪为主体的测量仪，包括激光源、半反半透镜、第一平面镜、第二平面镜、步进电机、小齿轮、大齿轮、数字成像板、光强探测器、第一垂直插槽、第二垂直插槽、减震隔离板、处理器和显示屏，其特征是步进电机驱动小齿轮，小齿轮带动大齿轮，激光出射口安放有中央带孔的数字成像板，光路经过第一垂直插槽上方，经过半反半透镜，之后分束，一路透射光、一路反射光：其中一路经过连接在大齿轮上的第二垂直插槽上方，遇第一平面镜反射后原路返回，经过第二垂直插槽上方，透过半反半透镜成像在光强探测器中央；另一路遇第二平面镜后反射原路返回，由半反半透镜反射成像在光强探测器中央，处理器连接步进电机、光强探测器、数字成像板和显示屏进行信息传输，减震隔离板将步进电机与其他光学元件隔开。

2.一种如权利要求1所述的测量仪，其特征是第一垂直插槽垂直于光路，第二垂直插槽固定连接大齿轮，第一垂直插槽和第二垂直插槽内表面涂有缓冲物防止划伤表面，且稳定夹住待测物。

3.一种如权利要求2所述的测量仪，其特征是由步进电机、大齿轮和小齿轮组成的系统转动匀速、稳定，且步进电机的步进角小于0.01°，步进电机驱动小齿轮带动大齿轮转动，以保持转动稳定。

4.一种如权利要求1所述的测量仪，其特征是减震隔离板将步进电机与光学元件隔离，防止步进电机的震动对光学元件造成干扰。