[发明专利]直流脉冲等离子体系统有效
| 申请号： | 201710110733.4 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN107134402B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 罗德里克·W·博斯韦尔;理查德·艾伦·戈特舍 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J9/00 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;邱晓敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种直流脉冲等离子体系统。提供了一种等离子体处理系统，其包括具有耦合到衬底支撑件的下电极和耦合到地的上电极的室。等离子体处理系统具有限定在上电极和下电极之间的等离子体处理体积。提供了直流(DC)到直流(DC)转换器以在输入处接收DC电压输入并且在输出处提供包括射频(RF)分量的放大的DC电压信号。DC电压输入遵循数字可编程的脉冲模式。直流到直流转换器的输出连接到室的下电极。控制器与直流到直流转换器连接以设置脉冲模式。在一个示例中，直流到直流转换器使用双极或非双极DC电压源中的一个，并且RF发生器由DC电压源驱动。RF发生器被配置为产生限定RF分量的频率纹波。 | ||
| 搜索关键词： | 直流 脉冲 等离子体 系统 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理系统，其包括：室，其具有耦合到衬底支撑件的下电极和耦合到地的上电极，等离子体处理容积限定在所述上电极和所述下电极之间；直流(DC)到直流(DC)转换器，其被配置为在输入处接收直流电压输入并且在输出处提供包括射频(RF)分量的放大的直流电压信号，所述直流电压输入遵循为数字可编程的脉冲模式，所述直流到直流转换器的输出连接到所述室的所述下电极；和控制器，其与所述直流到直流转换器连接以设置所述脉冲模式。
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