[发明专利]一种碳化硅冶炼的废气回收工艺

摘要

本发明公开了一种碳化硅冶炼的废气回收工艺，包括如下步骤：对碳化硅废气进行收集，将其通过管道经过吸附网，吸附后的废气通过管道进入热交换器进行降温，并通过加压装置对碳化硅废气进行加压，碳化硅废气通入到洗气塔内底部，再次将碳化硅废气引入至洗气塔内部，在洗气塔内将碳化硅废气的温度降低至常温，碳化硅废气通入到减压阀进行减压，处理后的碳化硅废气导入变频压缩机组内，经过压缩后，通入到冷凝回收泵内，从而移至冷凝回收罐内，最后将碳化硅废气通入气柜中进行储存。本发明中在能使碳化硅废气在经过处理后，做到回收利用，避免了其排放至空气中从而污染环境，不仅保护了环境，且使得废气的从新利用，符合现在发展的需求。

主权项

1.一种碳化硅冶炼的废气回收工艺，其特征在于，包括如下步骤：S1、将碳化硅密闭炉碳化硅废气接入到吸风机的入口，从而对碳化硅废气进行收集，将其通过管道经过吸附网，吸附碳化硅废气中油脂；S2、将S1中吸附后的废气通过管道进入热交换器进行降温，且将废气温度降至40‑50摄氏度，并通过加压装置对碳化硅废气进行加压，且保证压力值为0.6‑1MPa；S3、将S2中处理后的碳化硅废气通入到洗气塔内底部，避免碳化硅废气回流，通过洗气塔内的循环水进一步把碳化硅尾气中的粉尘除去；S4、再次将碳化硅废气引入至洗气塔内部，且保证其内部的水流速度为2‑5m/s，在洗气塔内将碳化硅废气的温度降低至常温，并保证洗气塔内部水的纯净度；S5、将S3中处理后碳化硅废气通入到减压阀进行减压，以保证废气气压为0.15‑0.25MPa，减压后，抽取碳化硅废气样本，并将其通入到尾气分析仪，从而检测碳化硅尾气中不同气体的含量；S6、处理后的碳化硅废气导入变频压缩机组内，经过压缩后，通入到冷凝回收泵内，从而移至冷凝回收罐内，从而得到纯净的碳化硅废气；S7、将S5中处理后的碳化硅废气通入气柜中，且进入气柜的流量为20‑30nm³/h，进行储存，以备需要时使用，应保持储存温度为30‑40摄氏度，气压为0.16‑0.22MPa。