[发明专利]一种基体表面低摩擦耐磨损防护薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201710089784.3 | 申请日： | 2017-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN108456882A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王永欣;关晓艳;李金龙;鲁侠;王立平;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/06;C23C14/32;C23C16/44;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基体表面低摩擦耐磨损防护薄膜的制备方法。该方法采用多弧离子镀技术在基体表面制备CrN薄膜，之后采用化学气相沉积法在该CrN薄膜层表面沉积聚对二甲苯薄膜(PPXC)，获得PPXC/CrN双重复合薄膜。其中，PPXC层和CrN层的协同效应使PPXC/CrN双重复合薄膜在腐蚀环境及较高的载荷下呈现极低的摩擦系数，并呈现优异的耐磨损、耐腐蚀性能，例如在海水环境及较高载荷下的摩擦系数低于0.1以下，磨损率在10‑6mm3/Nm数量级。 | ||
| 搜索关键词： | 基体表面 耐磨损 制备 防护薄膜 复合薄膜 摩擦系数 低摩擦 聚对二甲苯薄膜 化学气相沉积 薄膜层表面 多弧离子镀 耐腐蚀性能 腐蚀环境 海水环境 协同效应 高载荷 磨损率 沉积 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种基体表面低摩擦耐磨损防护薄膜的制备方法，其特征是：采用多弧离子镀技术在基体表面制备CrN薄膜层，之后采用化学气相沉积法在该CrN薄膜层表面沉积聚对二甲苯薄膜，获得PPXC/CrN双重复合薄膜。
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