[发明专利]一种基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置，其包括：腔体、基板保持单元、升降部件和升降驱动单元。腔体具有底板，该底板具有隔开收纳空间的上表面。基板保持单元被收纳于收纳空间并且载放于底板的上表面，并且用于保持基板。升降部件在收纳空间内升降。升降驱动单元驱动升降部件的升降。升降驱动单元包括：驱动源，该驱动源配置在底板的下表面的上方；升降头，该升降头连接保护件，并在整体位于底板的下表面的上方的可移动范围内，所述驱动源使该升降头上下移动。

主权项

一种基板处理装置，其包括：腔体，该腔体具有底板，该底板具有隔开收纳空间的下方的上表面；基板保持单元，该基板保持单元被收纳于所述腔体的收纳空间，并载放于所述底板的上表面，并且用于保持基板；升降部件，该升降部件在所述腔体的收纳空间内升降；升降驱动单元，该升降驱动单元驱动所述升降部件的升降，并且，所述升降驱动单元包括：驱动源，该驱动源配置在所述底板的下表面的上方；升降头，该升降头与所述升降部件连接，并且在整体位于所述底板的下表面的上方的可移动范围内，所述驱动源使该升降头上下移动。