[发明专利]用于利用两个MEMS感测元件测量差压和绝对压力的系统、设备和方法有效
| 申请号： | 201710070514.8 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN107063555B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 皮特·祖莫;维克多·本德尔 | 申请（专利权）人： | 森萨塔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/00 | 分类号： | G01L13/00;G01L15/00;G01F1/86;G01F1/88 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 特征是用于测量流体系统中的流动的流体/气体的差压和绝对压力的系统和方法。在所述方法中，流体系统被配置有第一和第二压力嘴，第一和第二压力嘴彼此间隔开使得第二压力嘴沿流方向位于第一压力嘴的下游。提供了绝对压力感测元件和差压感测元件，绝对压力感测元件第一流耦合至所述第一或第二压力嘴之一测量表示流动的流体/气体的绝对压力。差压感测元件第二流耦合至第一和第二压力嘴中的每个以测量第一压力嘴与第二压力嘴之间的流动的流体/气体的差压。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 利用 两个 mems 元件 测量 绝对 压力 系统 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量流体系统中的流动流体的绝对压力和差压的方法，包括：配置所述流体系统以包括第一压力嘴和第二压力嘴，所述第一压力嘴和所述第二压力嘴彼此间隔开使得所述第二压力嘴沿流方向位于所述第一压力嘴的下游；提供绝对压力感测元件，将所述绝对压力感测元件第一流耦合至所述第一压力嘴和所述第二压力嘴中的一个由此测量表示流耦合的对应压力嘴处所述流动流体的绝对压力；提供差压感测元件，将所述差压感测元件第二流耦合至所述第一压力嘴和所述第二压力嘴中的每个以测量所述第一压力嘴与所述第二压力嘴之间的所述流动流体的差压，以及其中所述第一流流耦合和所述第二流耦合进一步包括将未压缩介质设置在对应的绝对压力感测元件和差压感测元件与对应的第一压力嘴和第二压力嘴之间。
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