[发明专利]一种立方氮化硼涂层刀具及其制备方法

摘要

本发明提供了一种立方氮化硼涂层刀具及其制备方法。该制备方法包括以下步骤：利用化学气相沉积技术(包括热丝化学气相沉积和微波等离子体化学气相沉积)在刀具基体衬底上沉积掺硼类金刚石，得到表面具有掺硼类金刚石过渡层的衬底，然后可选择地继续沉积掺硼金刚石，得到表面具有掺硼金刚石/类金刚石复合过渡层的衬底；利用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术在表面具有掺硼类金刚石过渡层或掺硼金刚石/类金刚石复合过渡层的衬底上沉积立方氮化硼涂层。本发明提供的涂层刀具的制备方法易操作、可重复性好，涂层纯度和结晶度高，与衬底结合力强。该立方氮化硼涂层刀具可普遍应用于常规材料的切削加工，特别适用于一些难加工材料的切削。

主权项

1.一种立方氮化硼涂层刀具的制备方法，其包括以下步骤：(一)掺硼类金刚石过渡层的沉积、或掺硼金刚石/类金刚石复合过渡层的沉积：其中，所述掺硼类金刚石过渡层的沉积包括：利用微波等离子体化学气相沉积或热丝化学气相沉积技术在刀具基体衬底上沉积掺硼类金刚石，得到表面具有掺硼类金刚石过渡层的衬底；所述掺硼金刚石/类金刚石复合过渡层的沉积包括：(1)掺硼类金刚石过渡层的沉积：利用微波等离子体化学气相沉积或热丝化学气相沉积技术在刀具基体衬底上沉积掺硼类金刚石，得到表面具有掺硼类金刚石过渡层的衬底；(2)掺硼金刚石/类金刚石复合过渡层的沉积：利用微波等离子体化学气相沉积或热丝化学气相沉积技术在表面具有掺硼类金刚石过渡层的衬底上沉积掺硼金刚石，得到表面具有掺硼金刚石/类金刚石复合过渡层的衬底；(二)立方氮化硼涂层的沉积：利用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术在表面具有掺硼类金刚石过渡层的衬底、或表面具有掺硼金刚石/类金刚石复合过渡层的衬底上沉积立方氮化硼涂层，得到所述的立方氮化硼涂层刀具。