[发明专利]一种透明超疏水薄膜、其制备方法及用途

摘要

本发明涉及一种透明超疏水薄膜、其制备方法及用途。本发明的透明超疏水薄膜兼具超薄、超透明和极好的超疏水性，厚度在60‑150nm，透光率在90‑97％，与水的接触角大于167°。本发明采用将射频磁控溅射与退火相结合的方法在普通玻璃、k9玻璃、镀有增透膜的玻璃或者硅等多种透明或非透明衬底上制备薄层氧化锌纳米结构并进行低温氟化处理，大大降低表面能，表现出超疏水特性。该方法工艺简单，制作过程在高真空下进行，污染少，周期短，可重复操作且易于大规模生产，可广泛应用于对透光和超疏水均有要求的光电器件、光学器件等高端领域以及汽车玻璃、家用玻璃等工业、日常生活低端领域，具有十分重要和广泛的意义。

主权项

1.一种透明超疏水薄膜，其特征在于，所述透明超疏水薄膜包括氧化锌薄膜及负载在所述氧化锌薄膜表面的氟化碳薄膜，所述透明超疏水薄膜的厚度在60～150nm，透光率在90～97％，与水的接触角在167°以上；所述透明超疏水薄膜通过下述方法制备得到，所述制备方法包括以下步骤：(1)采用射频磁控溅射系统进行锌薄膜制备，以及进行锌薄膜退火处理，得到氧化锌薄膜；(2)对步骤(1)得到的氧化锌薄膜进行氟化处理，得到透明超疏水薄膜；步骤(1)所述采用射频磁控溅射系统进行锌薄膜退火处理的方法为：将制备得到的上表面负载有锌薄膜的衬底置于射频磁控溅射系统的基片台上，抽真空，加热，通入氧气，在第一温度300～350℃保温，然后再升温至第二温度450～500℃保温，得到负载在衬底的上表面的氧化锌薄膜。