[发明专利]可耐受静电放电事件的高压半导体元件有效
申请号: | 201710061090.9 | 申请日: | 2017-01-25 |
公开(公告)号: | CN108346653B | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 邱国卿;洪嘉伟 | 申请(专利权)人: | 通嘉科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L27/06 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种可耐受静电放电事件的高压半导体元件。该高压开关元件包含有一高压开关元件以及一静电放电防护元件。该高压开关元件包含有一重掺杂漏区以及数个第一条状掺杂区。该重掺杂漏区形成于一半导体基底中。该半导体基底为一第一型。该重掺杂漏区为与该第一型相反的一第二型。该多个第一条状掺杂区以一跑道图案设置,部分地围绕该重掺杂漏区。该静电放电防护元件形成于该半导体基底上,包含有一第一重掺杂区以及数个第二条状掺杂区。该第一重掺杂区为该第一型,形成于该半导体基底中,邻接于该重掺杂漏区。该多个第二条状掺杂区以另一跑道图案设置,部分地围绕该第一重掺杂区。 | ||
搜索关键词: | 耐受 静电 放电 事件 高压 半导体 元件 | ||
【主权项】:
1.一种高压半导体元件,可耐受静电放电事件,包含有:高压开关元件,包含有:重掺杂漏区,形成于一半导体基底上,该半导体基底为一第一型,该重掺杂漏区为与该第一型相反的一第二型;重掺杂源区,为该第二型,部分地围绕该重掺杂漏区,该重掺杂源区具有一第一弯曲(arch)部,该第一弯曲部凹向一第一方向;以及控制极,可控制该重掺杂漏区与该重掺杂源区之间的电连接;静电放电防护元件,包含有:第一重掺杂区,为该第一型,形成于该半导体基底上;以及第二重掺杂区,为该第一型,部分地围绕该第一重掺杂区,具有第二弯曲部,凹向一第二方向;其中,该第一方向相反于该第二方向。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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