[发明专利]可耐受静电放电事件的高压半导体元件有效

专利信息
申请号: 201710061090.9 申请日: 2017-01-25
公开(公告)号: CN108346653B 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 邱国卿;洪嘉伟 申请(专利权)人: 通嘉科技股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L27/06
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开一种可耐受静电放电事件的高压半导体元件。该高压开关元件包含有一高压开关元件以及一静电放电防护元件。该高压开关元件包含有一重掺杂漏区以及数个第一条状掺杂区。该重掺杂漏区形成于一半导体基底中。该半导体基底为一第一型。该重掺杂漏区为与该第一型相反的一第二型。该多个第一条状掺杂区以一跑道图案设置,部分地围绕该重掺杂漏区。该静电放电防护元件形成于该半导体基底上,包含有一第一重掺杂区以及数个第二条状掺杂区。该第一重掺杂区为该第一型,形成于该半导体基底中,邻接于该重掺杂漏区。该多个第二条状掺杂区以另一跑道图案设置,部分地围绕该第一重掺杂区。
搜索关键词: 耐受 静电 放电 事件 高压 半导体 元件
【主权项】:
1.一种高压半导体元件,可耐受静电放电事件,包含有:高压开关元件,包含有:重掺杂漏区,形成于一半导体基底上,该半导体基底为一第一型,该重掺杂漏区为与该第一型相反的一第二型;重掺杂源区,为该第二型,部分地围绕该重掺杂漏区,该重掺杂源区具有一第一弯曲(arch)部,该第一弯曲部凹向一第一方向;以及控制极,可控制该重掺杂漏区与该重掺杂源区之间的电连接;静电放电防护元件,包含有:第一重掺杂区,为该第一型,形成于该半导体基底上;以及第二重掺杂区,为该第一型,部分地围绕该第一重掺杂区,具有第二弯曲部,凹向一第二方向;其中,该第一方向相反于该第二方向。
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