[发明专利]一种硅片边缘保护装置有效
| 申请号： | 201710060966.8 | 申请日： | 2017-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108345178B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 蔡晨;王鑫鑫;刘臣才 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅片边缘保护装置，包括保护环、固定机构和升降机构；所述保护环安装在固定机构上，所述升降机构固定在曝光台上并带动所述固定机构升降，实现所述保护环贴近或离开所述硅片边缘。本发明提供的一种硅片边缘保护装置，保护环装置安装在曝光台上并与曝光台一起运动，每次硅片曝光过程中，衔接时间缩短，提高生产效率，且硅片边缘保护时定位精度高，提高了保护效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 边缘 保护装置 | ||
【主权项】：
1.一种硅片边缘保护装置，包括保护环，其特征在于，还包括固定机构和升降机构；所述保护环安装在固定机构上，所述升降机构固定在曝光台上并带动所述固定机构升降，实现所述保护环贴近或离开所述硅片边缘。
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