[发明专利]一种硅片边缘保护装置

权利要求书

1.一种硅片边缘保护装置，包括保护环，其特征在于，还包括固定机构和升降机构；所述保护环安装在固定机构上，所述升降机构固定在曝光台上并带动所述固定机构升降，实现所述保护环贴近或离开所述硅片边缘，同时实现同一尺寸规格的硅片曝光过程中不需保护环离开曝光台，只需将保护环提升或侧移实现硅片上下料，

所述固定机构包括安装座和定位座，所述安装座为半圆环形，

所述升降机构采用平行四边形连杆机构。

2.根据权利要求1所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述保护环是环形结构，所述保护环中央为镂空部分，边缘为实体部分。

3.根据权利要求1所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述安装座安装在所述升降机构上，所述定位座固定在所述安装座上，所述保护环固定于所述定位座与所述安装座之间。

4.根据权利要求3所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述固定机构还包括定位靠销，所述定位靠销固定安装在安装座上并与所述保护环的边缘贴合。

5.根据权利要求1所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述升降机构采用剪式升降机构或者侧移机构。

6.根据权利要求5所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述剪式升降机构包括剪式升降架和线性轴承机构，所述剪式升降架和线性轴承机构的顶部均固定在固定机构底部，所述剪式升降架和线性轴承机构的底部均固定在曝光台上。

7.根据权利要求6所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述剪式升降架包括剪式连杆机构和第一气缸驱动机构，所述第一气缸驱动机构安装在剪式连杆机构上，所述剪式连杆机构一端固定在固定机构底部，另一端固定在曝光台上。

8.根据权利要求7所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述剪式连杆机构包括底座和至少八根连杆，每四根连杆通过转动轴相互铰接形成一组平行四边形连杆结构，八根连杆形成两组平行四边形连杆结构，所述两组平行四边形连杆结构相互连接并对称设置，每组所述平行四边形连杆结构一端滑动连接所述底座，并通过所述底座固定在曝光台上，另一端滑动连接所述安装座，所述第一气缸驱动机构固定在所述底座上，并与所述两组平行四边形连杆结构连接。

9.根据权利要求5所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述侧移机构包括铰链杆机构、导向机构和第二气缸驱动机构，所述铰链杆机构、导向机构和第二气缸驱动机构的一端均安装在固定机构上，另一端安装在曝光台上，所述铰链杆机构包括多根对称分布形成平行四边形的铰链杆。

10.根据权利要求9所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述铰链杆包括一根连杆和两个铰链，所述连杆的两端分别通过所述两个铰链连接所述安装座和曝光台。

11.根据权利要求9所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述导向机构包括圆弧形导轨和滚轮，所述滚轮一端固定在安装座上，另一端设置在所述圆弧形导轨中，所述圆弧形导轨固定在曝光台上，所述圆弧形导轨的较低端面向所述硅片边缘。

12.根据权利要求9所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述第二气缸驱动机构包括气缸和铰链，所述气缸分别通过铰链与所述曝光台以及固定机构连接。

13.根据权利要求1所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述硅片边缘保护装置还包括接近传感器，所述接近传感器安装在所述曝光台上。

14.根据权利要求1所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述硅片边缘保护装置还包括销定位组件，所述销定位组件包括安装在曝光台上的销钉和设置在所述保护环上与所述销钉配合的销孔。

15.根据权利要求14所述的一种硅片边缘保护装置，其特征在于，所述销钉为圆锥销，所述销孔为与所述圆锥销对应的圆锥销孔。