[发明专利]一种硅片边缘保护装置

说明书

本发明提供了一种硅片边缘保护装置，包括保护环、固定机构和升降机构；所述保护环安装在固定机构上，所述升降机构固定在曝光台上并带动所述固定机构升降，实现所述保护环贴近或离开所述硅片边缘。本发明提供的一种硅片边缘保护装置，保护环装置安装在曝光台上并与曝光台一起运动，每次硅片曝光过程中，衔接时间缩短，提高生产效率，且硅片边缘保护时定位精度高，提高了保护效率。

技术领域

本发明涉及硅片保护技术领域，特别涉及一种硅片边缘保护装置。

背景技术

光刻装置主要用于集成电路IC或其他微型器件的制造。通过光刻装置，可将掩模图形成像于涂覆有光刻胶的晶片上，例如半导体或LCD板。光刻装置通过投影物镜曝光，将设计的掩模图形转移到光刻胶上。在负胶工艺曝光过程中，硅片边缘容易受到损坏，因此产生硅片边缘保护装置。

常规的硅片边缘保护机构工艺路线为：曝光前，将硅片加载至曝光台上，曝光台运动到交接位置，将保护环放置到曝光台上之后，曝光台再运动至曝光位置完成曝光；曝光完成之后，曝光台运动到保护环交接位置将保护环取下，然后将完成曝光的硅片运至下一道工序；硅片边缘保护装置安装在整机框架上、位置比较固定，不随曝光台一起运动，工艺衔接时间长，效率较低。

发明内容

本发明为了弥补现有的技术缺陷，提供一种硅片边缘保护装置，以解决现有保护环装置在保护硅片边缘过程中，保护环不随曝光台运动，工艺衔接时间长、效率低的问题。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种硅片边缘保护装置，包括保护环，还包括固定机构和升降机构；所述保护环安装在固定机构上，所述升降机构固定在曝光台上并带动所述固定机构升降，实现所述保护环贴近或离开所述硅片边缘。

可选地，所述保护环是环形结构，所述保护环中央为镂空部分，边缘为实体部分。

可选地，所述固定机构包括安装座和定位座，其中，所述安装座安装在所述升降机构上，所述定位座固定在所述安装座上，所述保护环固定于所述定位座与所述安装座之间。

可选地，所述安装座为半圆环形。

可选地，所述固定机构还包括定位靠销，所述定位靠销固定安装在安装座上并与所述保护环的边缘贴合。

可选地，所述升降机构采用剪式升降机构或者侧移机构。

可选地，所述剪式升降机构包括剪式升降架和线性轴承机构，所述剪式升降架和线性轴承机构的顶部均固定在固定机构底部，所述剪式升降架和线性轴承机构的底部均固定在曝光台上。

可选地，所述剪式升降架包括剪式连杆机构和第一气缸驱动机构，所述第一气缸驱动机构安装在剪式连杆机构上，所述剪式连杆机构一端固定在固定机构底部，另一端固定在曝光台上。

可选地，所述剪式连杆机构包括底座和至少八根连杆，每四根连杆通过转动轴相互铰接形成一组平行四边形连杆结构，八根连杆形成两组平行四边形连杆结构，所述两组平行四边形连杆结构相互连接并对称设置，每组所述平行四边形连杆结构一端滑动连接所述底座，并通过所述底座固定在曝光台上，另一端滑动连接所述安装座，所述第一气缸驱动机构固定在所述底座上，并与所述两组平行四边形连杆结构连接。

可选地，所述侧移机构包括铰链杆机构、导向机构和第二气缸驱动机构，所述铰链杆机构、导向机构和第二气缸驱动机构的一端均安装在固定机构上，另一端安装在曝光台上，所述铰链杆机构包括多根对称分布形成平行四边形的铰链杆。

可选地，所述铰链杆包括一根连杆和两个铰链，所述连杆的两端分别通过所述两个铰链连接所述安装座和曝光台。

可选地，所述导向机构包括圆弧形导轨和滚轮，所述滚轮一端固定在安装座上，另一端设置在所述圆弧形导轨中，所述圆弧形导轨固定在曝光台上，所述圆弧形导轨的较低端面向所述硅片边缘。