[发明专利]层迭误差测量装置及方法有效
| 申请号： | 201710060271.X | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108345177B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 陈彦良;谢鸿志;吴锴;陈开雄;柯志明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 郑特强;李昕巍 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供层迭误差测量装置及方法。装置包括光源、光学系统、物镜及检测器。光源用于产生测量光。光学系统用于将测量光导引至物镜中。物镜用于将测量光导引至一层迭标记上，同时将从层迭标记绕射的正主极绕射光与负主极绕射光收集至物镜的光瞳面上。检测器设置于物镜的光瞳面上，用于检测前述正、负主极绕射光的光强度分布，并利用正、负主极绕射光的所述光强度分布相减而得到层迭标记的一层迭误差信号。其中，光学系统包括一光圈，其具有至少一透光区域，其位置、尺寸及/或形状根据层迭误差信号中的噪声的位置为可调变的。本公开提供的层迭误差测量装置能够改善层迭误差信号的品质，并可提高层迭误差检测的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 误差 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种层迭误差测量装置，其特征在于，包括：一物镜；一光源，用于产生一测量光；一光学系统，用于将该测量光导引至该物镜中，该物镜用于将该测量光导引至一层迭标记上，同时将从该层迭标记绕射的正主极绕射光与负主极绕射光收集至该物镜的一光瞳面上；以及一检测器，设置于该物镜的该光瞳面上，用于检测所述正、负主极绕射光的光强度分布，并利用所述正、负主极绕射光的所述光强度分布相减而得到该层迭标记的一层迭误差信号；其中，该光学系统包括一光圈，该光圈具有至少一透光区域，且该透光区域的位置、尺寸及/或形状根据该层迭误差信号中的噪声的位置为可调变的。
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