[发明专利]层迭误差测量装置及方法

权利要求书

1.一种层迭误差测量装置，其特征在于，包括：

一物镜；

一光源，用于产生一测量光；

一光学系统，用于将该测量光导引至该物镜中，该物镜用于将该测量光导引至一层迭标记上，同时将从该层迭标记绕射的正主极绕射光与负主极绕射光收集至该物镜的一光瞳面上；以及

一检测器，设置于该物镜的该光瞳面上，用于检测该正主极绕射光与该负主极绕射光的光强度分布，并利用该正主极绕射光与该负主极绕射光的所述光强度分布相减而得到该层迭标记的一层迭误差信号；

其中，该光学系统包括一光圈，该光圈具有至少一透光区域，且该透光区域的位置、尺寸及/或形状根据该层迭误差信号中的噪声的位置为可调变的。

2.如权利要求1所述的层迭误差测量装置，其中该层迭误差信号具有一光强度分布，其形状对应于该光圈的一透光部的形状。

3.如权利要求1或2所述的层迭误差测量装置，其中该检测器电性连接该光圈，并根据该层迭误差信号中的噪声的位置调变该光圈的该至少一透光区域与至少一非透光区域的位置、尺寸及/或形状。

4.如权利要求3所述的层迭误差测量装置，其中该光圈为一主动式矩阵液晶模块，通过控制该主动式矩阵液晶模块的至少一液晶单元中液晶分子的方向以允许或不允许光线通过，可调变该光圈的该至少一透光区域与该至少一非透光区域的位置、尺寸及/或形状。

5.如权利要求3所述的层迭误差测量装置，其中该光圈为一微镜片阵列模块，通过控制该微镜片阵列模块的至少一微镜片单元中微镜片的倾斜角度以允许或不允许光线通过，可调变该光圈的该至少一透光区域与该至少一非透光区域的位置、尺寸及/或形状。

6.如权利要求1或2所述的层迭误差测量装置，其中该光学系统沿该测量光的传播方向按序包括：一准直透镜、一滤波片、该光圈、一第一透镜、一视场光阑、一第二透镜以及一分光镜。

7.如权利要求1或2所述的层迭误差测量装置，其中该正主极绕射光与该负主极绕射光为正1阶绕射光与负1阶绕射光。

8.如权利要求1或2所述的层迭误差测量装置，其中该层迭标记由位于一基材上的一当层及一前层的两层光栅结构组成。

9.一种层迭误差测量装置，包括：

一光学系统，用于将来自一光源的一测量光导引至一物镜中，该物镜用于将该测量光导引至一层迭标记上，同时收集从该层迭标记绕射的正主极绕射光与负主极绕射光，其中该光学系统包括一光圈，该光圈具有至少一透光区域与至少一非透光区域；以及

一检测器，用于将该正主极绕射光与该负主极绕射光的光强度分布相减以得到该层迭标记的一层迭误差信号，并根据该层迭误差信号中的噪声的位置调变该光圈的该至少一透光区域与该至少一非透光区域的位置、尺寸及/或形状。

10.一种层迭误差测量方法，其特征在于，包括：

通过一光源发出一测量光；

通过一光学系统将该测量光导引至一物镜中；

通过该物镜将该测量光导引至一层迭标记上，并将从该层迭标记绕射的正主极绕射光与负主极绕射光收集至该物镜的一光瞳面上；

通过一检测器检测该正主极绕射光与该负主极绕射光的光强度分布，并利用该正主极绕射光与该负主极绕射光的所述光强度分布相减而得到该层迭标记的一参考的层迭误差信号；

通过该检测器根据该参考的层迭误差信号中的噪声的位置，调变该光学系统中的一光圈的至少一透光区域的位置、尺寸及/或形状；以及

通过该检测器检测该正主极绕射光与该负主极绕射光的光强度分布，并利用该正主极绕射光与该负主极绕射光的所述光强度分布相减而得到该层迭标记的一正式的层迭误差信号。