[发明专利]压电驱动装置、马达、机器人以及泵

摘要

本发明提供具备电极的导电性良好且耐绝缘性良好、可靠性高的薄膜压电元件的压电驱动装置，具备：振动板；第一电极层，设置于振动板上方；压电体层，设置于第一电极层上方；第二电极层，设置于压电体层上方；绝缘层，设置成覆盖第一电极层、压电体层及第二电极层的上表面；布线层，设置于绝缘层上方并与第二电极层导通，在第一电极层、压电体层及第二电极层重叠的部分形成有源部，有源部在俯视时具有长边方向和短边方向，在短边方向的两端，第一电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠外侧的位置，第二电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠内侧的位置，第一电极层的端被配置在比第二电极层的端靠外侧的位置。

主权项

一种压电驱动装置，其特征在于，具备：振动板；第一电极层，被设置于所述振动板的上方；压电体层，被设置于所述第一电极层的上方；第二电极层，被设置于所述压电体层的上方；绝缘层，被设置成覆盖所述第一电极层、所述压电体层以及所述第二电极层的上表面；以及布线层，被设置于所述绝缘层的上方，并与所述第二电极层导通，在所述第一电极层、所述压电体层以及所述第二电极层重叠的部分形成有源部，所述有源部在俯视时具有长边方向和短边方向，在所述短边方向的两端，所述第一电极层的端被配置在与所述布线层的端相同或者比所述布线层的端靠外侧的位置，所述第二电极层的端被配置在与所述布线层的端相同或者比所述布线层的端靠内侧的位置，所述第一电极层的端被配置在比所述第二电极层的端靠外侧的位置。