[发明专利]压电驱动装置、马达、机器人以及泵有效
申请号: | 201710059759.0 | 申请日: | 2017-01-24 |
公开(公告)号: | CN107068850B | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 古林智一;山田大介 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 田喜庆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 驱动 装置 马达 机器人 以及 | ||
1.一种压电驱动装置,其特征在于,具备:
振动板;
第一电极层,被设置于所述振动板的上方;
压电体层,被设置于所述第一电极层的上方;
第二电极层,被设置于所述压电体层的上方;
绝缘层,被设置成覆盖所述第一电极层、所述压电体层以及所述第二电极层的上表面;以及
布线层,被设置于所述绝缘层的上方,并与所述第二电极层导通,
在所述第一电极层、所述压电体层以及所述第二电极层重叠的部分形成有源部,
所述有源部在俯视时具有长边方向和短边方向,
在所述短边方向的两端,
所述第一电极层的端被配置在与所述布线层的端相同或者比所述布线层的端靠外侧的位置,
所述第二电极层的端被配置在与所述布线层的端相同或者比所述布线层的端靠内侧的位置,
所述第一电极层的端被配置在比所述第二电极层的端靠外侧的位置,
其中,在所述长边方向的至少一端,
所述第一电极层的端被配置在与所述布线层的端相同或者比所述布线层的端靠外侧的位置,
所述第二电极层的端被配置在与所述布线层的端相同或者比所述布线层的端靠内侧的位置,
所述第一电极层的端被配置在比所述第二电极层的端靠外侧的位置。
2.根据权利要求1所述的压电驱动装置,其特征在于,
所述有源部的所述长边方向的长度为所述短边方向的长度的1.001倍以上1000倍以下。
3.一种马达,其特征在于,包括:
权利要求1所述的压电驱动装置;以及
借助于所述压电驱动装置来旋转的转子。
4.一种机器人,其特征在于,包括:
多个连杆部;
关节部,连接多个所述连杆部;以及
权利要求1所述的压电驱动装置,使多个所述连杆部在所述关节部转动。
5.一种泵,其特征在于,包括:
权利要求1所述的压电驱动装置;
管,输送液体;以及
多个指部,通过所述压电驱动装置的驱动来封闭所述管。
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