[发明专利]压电驱动装置、马达、机器人以及泵

说明书

本发明提供具备电极的导电性良好且耐绝缘性良好、可靠性高的薄膜压电元件的压电驱动装置，具备：振动板；第一电极层，设置于振动板上方；压电体层，设置于第一电极层上方；第二电极层，设置于压电体层上方；绝缘层，设置成覆盖第一电极层、压电体层及第二电极层的上表面；布线层，设置于绝缘层上方并与第二电极层导通，在第一电极层、压电体层及第二电极层重叠的部分形成有源部，有源部在俯视时具有长边方向和短边方向，在短边方向的两端，第一电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠外侧的位置，第二电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠内侧的位置，第一电极层的端被配置在比第二电极层的端靠外侧的位置。

技术领域

本发明涉及压电驱动装置、马达、机器人以及泵。

背景技术

使压电体振动来驱动被驱动体的超声波马达因不需要磁铁、线圈而在各种领域中利用(例如参照专利文献1)。在这样的超声波马达中，通常利用具备块状的压电体的压电元件(块状压电元件)(例如参照专利文献2)。

另一方面，作为压电元件，已知有具备薄膜状的压电体的压电元件(薄膜压电元件)。薄膜压电元件主要在喷墨打印机的头部为了进行油墨的射出而利用。

专利文献1：日本特开2004-320979号公报

专利文献2：日本特开2008-227123号公报

若将上述那样的薄膜压电元件应用于超声波马达中，则能够使超声波马达、被其驱动的机器小型化。然而，对于薄膜压电元件而言，由于压电体层为薄膜，因此存在因驱动时产生的应力而在压电体层产生裂纹的情况。

另外，在将薄膜压电元件应用于超声波马达的情况下，上下电极由贵金属等薄膜形成，因而存在布线电阻变大的情况。因此，作为补偿电极的导电性的方法之一，研究设置与电极导通的布线。但是已知在使用了薄膜压电元件的超声波马达中，在压电元件重叠配置布线的情况下，布线的端部的位置与压电元件的电极的端部的位置之间的关系影响薄膜压电元件的耐绝缘性。

发明内容

本发明的几个方式所涉及的目的之一在于提供一种具备电极的导电性良好且耐绝缘性良好的可靠性高的薄膜压电元件的压电驱动装置。另外，本发明的几个方式所涉及的目的之一在于提供一种包括上述压电驱动装置的超声波马达。另外，本发明的几个方式所涉及的目的之一在于提供一种包括上述超声波马达的机器人或者泵。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例来实现。

本发明所涉及的压电驱动装置的一方式，具备：

振动板；

第一电极层，被设置于上述振动板的上方；

压电体层，被设置于上述第一电极层的上方；

第二电极层，被设置于上述压电体层的上方；

绝缘层，被设置成覆盖上述第一电极层、上述压电体层以及上述第二电极层的上表面；以及

布线层，被设置于上述绝缘层的上方，并与上述第二电极层导通，

在上述第一电极层、上述压电体层以及上述第二电极层重叠的部分形成有源部，

上述有源部在俯视时具有长边方向和短边方向，

在上述短边方向的两端，

上述第一电极层的端被配置在与上述布线层的端相同或者比上述布线层的端靠外侧的位置，

上述第二电极层的端被配置在与上述布线层的端相同或者比上述布线层的端靠内侧的位置，

上述第一电极层的端被配置在比上述第二电极层的端靠外侧的位置。