[发明专利]一种碱金属元素掺杂的铜铟镓硒吸收层薄膜的制备方法

摘要

本发明属于铜铟硒基薄膜太阳电池技术领域。具体公开碱金属元素掺杂的铜铟镓硒吸收层薄膜的制备方法，其具体步骤是(1)首先，在钠钙玻璃衬底上制作氮化硅阻挡层；(2)然后，在上述衬底上沉积背接触Mo层；(3)在上述沉积的掺有碱金属元素的背接触Mo层上叠层沉积CIG金属预制层；(4)制备碱金属元素掺杂的铜铟镓硒吸收层薄膜。该制备方法对衬底材料依赖性降低、扩散可控，工序简单易于实现，且金属预制层粗糙度小、附着性好，元素混合均匀，制得薄膜结晶性好，带隙可调性强。

主权项

一种碱金属元素掺杂的铜铟镓硒吸收层薄膜的制备方法，其具体步骤是：(1)首先，在钠钙玻璃衬底上制作氮化硅阻挡层；(2)然后，在上述衬底上沉积掺有碱金属元素的背接触Mo层；(3)在上述沉积的掺有碱金属元素的背接触Mo层上叠层沉积CIG金属预制层；(4)制备碱金属元素掺杂的铜铟镓硒吸收层薄膜：将上述背接触层与CIG金属预制层放入真空退火炉内，抽真空并通入保护性反应气体，在高温进行快速热硒化处理，随后停止气体供应自然降温。