[发明专利]一种基于光强调制型MOEMS加速度计在审
| 申请号： | 201710036155.4 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106597012A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘俊;韩兴宇;石云波;黄堃;曹慧亮;梁涛 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙)11491 | 代理人： | 黄耀钧 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明一种基于光强调制型MOEMS加速度计属于微电子系统领域，解决了现有传感器在特殊情况下存在电磁干扰的问题，采用的技术方案为包括从下到上依次设置的衬底层、中间层以及器件层，其特征在于器件层中部设置有质量块，质量块通过四个直连接梁固支于锚点，质量块的上下两边对称设有V形镜，V形镜正对面设有输入光纤卡槽，输入光纤卡槽的两侧对称设有输出光纤卡槽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 调制 moems 加速度计 | ||
【主权项】：
一种基于光强调制型MOEMS加速度计，包括从下到上依次设置的衬底层(10)、中间层(11)以及器件层(12)，其特征在于：器件层(12)中部设置有质量块(2)，质量块(2)通过四个直连接梁(1)固支于锚点(9)，质量块(2)的上下两边对称设有V形镜(4)，V形镜(4)正对面设有输入光纤卡槽(5)，输入光纤卡槽(5)的两侧对称设有输出光纤卡槽(6)。
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