[发明专利]一种质量厚度为400～2000μg/cm2 有效
| 申请号： | 201710001108.6 | 申请日： | 2017-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN106868460B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 樊启文;胡跃明;王华;张榕 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明属于核技术应用领域，具体涉及核物理实验所需的一种质量厚度为400～2000μg/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 质量 厚度 400 2000 cm base sup | ||
【主权项】：
一种质量厚度为400～2000μg/cm2自支撑Ir靶的制备工艺，其特征在于，该工艺主要包括以下五个步骤：(1)以铜箔为基衬，用聚焦重离子溅射法在该基衬上溅射沉积质量厚度为100～250μg/cm2的Ir沉积层，得到铜基Ir膜；(2)将步骤(1)得到的铜基Ir膜放置在硝酸溶液表面，其中铜基面直接接触硝酸溶液，待铜基被硝酸腐蚀溶解完全后，得到与铜基衬分离的Ir沉积层；(3)利用载玻片将步骤(2)得到的Ir沉积层转移至去离子水表面以清洗Ir沉积层表面的硝酸溶液；(4)将上述清洗过的Ir沉积层利用靶框固定；(5)以步骤(4)得到的Ir沉积层作为基衬，再次利用聚焦重离子溅射沉积法在该基衬上溅射沉积Ir，直至得到所需质量厚度的自支撑Ir靶。
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