[发明专利]用于涂布柔性基板的沉积设备和涂布柔性基板的方法在审
| 申请号： | 201680087568.9 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN109477203A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·德皮施;斯蒂芬·海因;尼尔·莫里森;赖纳·库克拉;克里斯多夫·卡森;苏珊娜·施拉弗;斯特凡·劳伦兹;德克·瓦格纳;瓦莱里亚·梅特;沃尔克·哈克;乌韦·赫尔曼斯;比约恩·斯蒂克瑟-韦斯;沃尔特·文德尔穆特;于尔根·乌尔里奇 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/10;C23C14/34;C23C14/56;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用层堆叠结构涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，配置用于容纳存储卷筒，所述存储卷筒用于提供柔性基板；第一沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室下游并且包含第一涂布滚筒(122)，所述第一涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第一组多个沉积单元(121)；第二沉积腔室(140)，布置在第一沉积腔室(120)下游并且包含第二涂布滚筒(142)，所述第二涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第二组多个沉积单元(141)；第二卷筒腔室，布置在第二沉积腔室(140)下游并且被配置用于容纳缠绕卷筒，所述缠绕卷筒用于在沉积之后在此缠绕卷筒上缠绕柔性基板；和辊组件，配置成将柔性基板(10)沿部分凸形并且部分凹形的基板传送路径从第一卷筒腔室传送到第二卷筒腔室。此外，描述一种涂布柔性基板的方法，特别是用所描述的沉积设备涂布柔性基板的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性基板 涂布柔性 卷筒腔 基板 沉积腔室 沉积设备 涂布滚筒 缠绕 卷筒 配置 沉积单元 存储卷筒 容纳 基板传送路径 方法描述 层堆叠 辊组件 凹形 凸形 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种用层堆叠结构涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)，包含：第一卷筒腔室(110)，被配置用于容纳存储卷筒(112)，所述存储卷筒(112)用于提供所述柔性基板(10)；第一沉积腔室(120)，布置在所述第一卷筒腔室(110)下游且包含第一涂布滚筒(122)，所述第一涂布滚筒(122)被配置用于引导所述柔性基板经过第一组多个沉积单元(121)；第二沉积腔室(140)，布置在所述第一沉积腔室(120)下游且包含第二涂布滚筒(142)，所述第二涂布滚筒(142)被配置用于引导所述柔性基板经过第二组多个沉积单元(141)；第二卷筒腔室(150)，布置在所述第二沉积腔室(140)下游且被配置用于容纳缠绕卷筒(152)，所述缠绕卷筒(152)用于在沉积后在所述缠绕卷筒(152)上缠绕所述柔性基板(10)；和辊组件，被配置成将所述柔性基板沿部分凸形并且部分凹形的基板传送路径从所述第一卷筒腔室传送到所述第二卷筒腔室。
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