[发明专利]MEMS器件及电子设备有效
| 申请号： | 201680078846.4 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN108698813B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 杨国权;马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种MEMS器件(10，20，30)及电子设备(40)。该MEMS器件(10，20，30)包括：微发光二极管(11，21，31)；以及能移动部件(12，22，32)，其中，所述微发光二极管(11，21，31)被安装在所述能移动部件(12，22，32)上并被配置用于随所述能移动部件(12，22，32)一起移动。所述MEMS器件(10，20，30)的信号检测可以被简化和/或可以丰富由MEMS器件(10，20，30)所产生的信号的内容。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS器件，包括：微发光二极管；以及能移动部件，其中，所述微发光二极管被安装在所述能移动部件上并被配置用于随所述能移动部件一起移动。
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