[发明专利]具有冷却结构的溅射靶背衬板组装件

摘要

形成整体背衬板的方法，其包括使用增材制造形成连续材料的三维结构，其包括在第一平面中形成基本平坦的第一侧、形成接合到所述第一侧的多个流动障碍物，所述多个流动障碍物具有在垂直于所述第一平面的方向上的厚度；形成限定在所述多个流动障碍物之间的多个流道；和在所述第一平面中形成基本平坦的第二侧，和均匀固化所述材料以使所述背衬板在所述第一侧、所述多个流动障碍物和所述第二侧各处包含均匀的连续材料结构。

主权项

1.形成与溅射靶一起使用的整体背衬板的方法，所述方法包括：使用增材制造形成连续材料的三维结构，其包括在第一平面中形成基本平坦的第一侧，所述第一侧具有第一表面和第二表面和在垂直于所述第一平面的方向上在所述第一和第二表面之间的厚度；形成接合到所述第一侧的所述第二表面的多个流动障碍物，所述多个流动障碍物在平行于所述第一平面的方向上延伸并具有在垂直于所述第一平面的方向上的厚度；形成限定在所述多个流动障碍物之间的多个流道并包括与所述多个流道流体连通的至少一个液体输入口和至少一个液体输出口；和在所述第一平面中形成基本平坦的第二侧，所述第二侧具有接合到所述多个流动障碍物的第一表面，和第二表面和在垂直于所述第一平面的方向上在所述第一和第二表面之间的厚度；和固化所述材料以使所述背衬板在所述第一侧、所述多个流动障碍物和所述第二侧各处包含均匀的连续材料结构。