[发明专利]臭氧供给装置以及臭氧供给方法有效
| 申请号： | 201680076340.X | 申请日： | 2016-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN108473306B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 中川雄介;松浦洋航;和田升;中村保博 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | C01B13/10 | 分类号： | C01B13/10;B01D53/04;B01D53/047 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 严鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 臭氧供给装置包括臭氧产生器(2)、吸附塔(3)、待机部(7)、减压装置(8)、臭氧供给部(9)、低温制冷剂循环器(5)和控制部(10)，所述控制部(10)使生成的臭氧化气体吸附于冷却后的吸附剂(4)，将吸附于吸附剂(4)的臭氧化气体解吸并浓缩，控制部(10)使自吸附塔(3)的吸附剂(4)解吸出来的臭氧化气体在待机部(7)待机的待机状态时的吸附塔(3)内的压力低于吸附时的吸附塔(3)内的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 臭氧 供给 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种臭氧供给装置，其中，所述臭氧供给装置包括：臭氧产生器，所述臭氧产生器生成臭氧化气体；吸附塔，所述吸附塔使生成的所述臭氧化气体吸附于内部的吸附剂；待机部，所述待机部使自所述吸附塔的所述吸附剂解吸出来的所述臭氧化气体待机；减压装置，所述减压装置使所述吸附塔以及所述待机部的压力下降；臭氧供给部，所述臭氧供给部将所述解吸出来的臭氧化气体供给到供给对象；低温制冷剂循环器，所述低温制冷剂循环器将所述吸附剂冷却；以及控制部，所述控制部控制将所述臭氧产生器、所述吸附塔、所述待机部以及所述减压装置连接起来的气体流路的气流，使生成的所述臭氧化气体吸附于冷却后的所述吸附剂，将吸附于所述吸附剂的所述臭氧化气体解吸而使臭氧浓缩，所述控制部使所述解吸出来的臭氧化气体在所述待机部进行待机的待机状态时的所述吸附塔内的压力，低于所述吸附时的所述吸附塔内的压力。
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