[发明专利]可调谐波长电子光学分析器在审
申请号: | 201680072479.7 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN108369255A | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | U·金德利特;V·布鲁斯 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/311 | 分类号: | G01R31/311;G01R31/265;G01R31/308 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈小刚;陈炜 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种电子光学分析系统提供有波长可调谐激光器,使得DUT可由不同波长的激光照射。确定与来自以多个波长进行激光器照射的DUT的反射相对应的信号质量。每一波长的信号质量可以在一波长范围上与阈值信号质量相比较,或者彼此相比较,以标识提高分辨率并减少破坏性干扰和串扰的波长。 | ||
搜索关键词: | 波长 电子光学 波长可调谐激光器 激光器照射 破坏性干扰 分析系统 激光照射 阈值信号 分辨率 分析器 可调谐 串扰 反射 | ||
【主权项】:
1.一种电子光学分析系统,包括:波长可调谐激光器,其被配置成对调谐控制信号作出响应以生成具有响应于所述调谐控制信号来调整的波长的激光;信号发生器,其被配置成使用测试向量信号来刺激集成电路;以及检测器,其被配置成在所述集成电路由所述测试向量信号刺激的同时检测来自所述波长可调谐激光器的由所述集成电路反射的激光。
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