[发明专利]可调谐波长电子光学分析器

权利要求书

1.一种电子光学分析系统，包括：

波长可调谐激光器，其被配置成对调谐控制信号作出响应以生成具有响应于所述调谐控制信号来调整的波长的激光；

信号发生器，其被配置成使用测试向量信号来刺激集成电路；以及

检测器，其被配置成在所述集成电路由所述测试向量信号刺激的同时检测来自所述波长可调谐激光器的由所述集成电路反射的激光。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，进一步包括：

配置成生成所述调谐控制信号的调谐控制器。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，进一步包括：

信号质量分析器，其被配置成根据与所述波长可调谐激光器所生成的波长相对应的检测到的激光来生成信号质量。

4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，进一步包括：

比较器，其被配置成：

将从所述信号质量分析器接收到的多个信号质量相比较，每一信号质量对应于不同波长；

选择与最高信号质量相对应的波长；以及

将标识所述波长的信息传送给所述调谐控制器。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述比较器被进一步配置成在接收到与预定波长范围相对应的信号质量之后将所述多个信号质量彼此相比较。

6.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述比较器被进一步配置成将所述多个信号质量中的每一者与阈值信号质量相比较。

7.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述波长可调谐激光器包括至少两个激光器，每一激光器专用于对应的波长范围。

8.如权利要求1所述的系统，其特征在于，进一步包括配置成分析来自所述检测器的检测到的信号的RF分量的频谱分析器。

9.一种方法，包括：

使用调谐到第一波长的波长可调谐激光器照射集成电路，同时使用测试向量信号刺激所述集成电路，以便所述集成电路在所述第一波长处调制激光照射的第一反射；

确定所述第一反射的信号质量；

调谐所述波长可调谐激光器以使用第二波长的激光照射所述集成电路，同时使用所述测试向量信号刺激所述集成电路，以便所述集成电路在所述第二波长处调制所述激光的第二反射；以及

确定所述第二反射的信号质量。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，进一步包括：

将所述第一反射和所述第二反射的信号质量相比较；以及

选择与较高信号质量相对应的波长。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，进一步包括：

将所述波长可调谐激光器调谐到具有所选信号质量的波长；以及

对所述集成电路执行电子光学分析操作。

12.如权利要求9所述的方法，其特征在于，进一步包括：

使用调谐到多个波长中的每一者的所述波长可调谐激光器顺序地照射集成电路，同时使用所述测试向量信号刺激所述集成电路，以便所述集成电路在所述多个波长中的每一者处调制激光照射的多个反射；以及

确定所述多个反射中的每一者的信号质量。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，进一步包括：

将所述信号质量中的每一者顺序地与阈值信号质量相比较；以及

选择满足或超过所述阈值信号质量的波长。

14.如权利要求12所述的方法，其特征在于，进一步包括：

将所述多个信号质量中的每一者彼此相比较；以及

选择具有最高信号质量的波长。