[发明专利]太阳能电池及其制造方法有效
| 申请号: | 201680071937.5 | 申请日: | 2016-12-16 |
| 公开(公告)号: | CN108401469B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
| 发明(设计)人: | 张胜现;崔宇镇 | 申请(专利权)人: | 威科股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0392 | 分类号: | H01L31/0392;H01L31/0749;H01L31/0445;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人: | 许振强;杜正国 |
| 地址: | 韩国大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明提供一种能够提高光电转换效率的太阳能电池及其制造方法。本发明的太阳能电池包括:电极层,形成在基板上;光吸收层,形成在所述电极层上;第一缓冲层,通过原子层沉积(ALD)工艺形成在所述光吸收层上,所述第一缓冲层通过交替层叠硫化镉(CdS)和硫化锌(ZnS)而形成;第二缓冲层,通过原子层沉积工艺形成在所述第一缓冲层上,所述第二缓冲层通过交替层叠氧化锌(ZnO)和硫化锌(ZnS)而形成;以及窗口层,形成在所述第二缓冲层上。通过原子层沉积工艺在光吸收层和窗口层之间形成交替重复地层叠有硫化镉(CdS)和硫化锌(ZnS)的第一缓冲层和交替重复地层叠有氧化锌(ZnO)和硫化锌(ZnS)的第二缓冲层,可以减少光吸收层、缓冲层和窗口层之间的带偏移和晶格失配,并且可以提高太阳能电池的光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词: | 太阳能电池 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能电池,其中,包括:电极层,形成在基板上;光吸收层,形成在所述电极层上;第一缓冲层,通过原子层沉积工艺形成在所述光吸收层上,所述第一缓冲层通过交替层叠硫化镉和硫化锌而形成;第二缓冲层,通过原子层沉积工艺形成在所述第一缓冲层上,所述第二缓冲层通过交替层叠氧化锌和硫化锌而形成;以及窗口层,形成在所述第二缓冲层上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





