[发明专利]具有受控的接触着陆的MEMS RF开关有效
| 申请号： | 201680065979.8 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN108292576B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩;理查德·L·奈普;迈克·雷诺;希巴乔蒂·高希·达斯蒂德尔;杰奎斯·马赛尔·穆扬戈 | 申请（专利权）人： | 卡文迪什动力有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 侯丽英;刘继富 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MEMS开关包括位于衬底101上的RF电极102、下拉电极104和锚电极108。多个岛状物226被提供在下拉电极中，并且与其电隔离。RF电极的顶部上是RF触点206，在下拉状态中，MEMS桥212、214形成与该RF触点206的欧姆接触。下拉电极104覆盖有介电层202以避免桥和下拉电极之间短路。接触止挡块224设置在介电层202上的对应于岛状物226的位置处，并且在下拉状态中，在桥和介电层之间产生的间隙减少了电介质充电。在替代实施例中，接触止挡块被提供在介电层202内或设置在岛状物自身上并在介电层之下。开关提供了在宽电压工作范围上对MEMS开关的接触电阻的良好可控性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 受控 接触 着陆 mems rf 开关 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS器件，包括：衬底，至少具有设置在其中的锚电极、RF电极和下拉电极，其中，所述下拉电极具有设置在其中的多个岛状物；开关元件，设置在所述衬底上方，所述开关元件电耦合到所述锚电极，并且能够从与所述RF电极间隔第一距离的第一位置和与所述RF电极间隔第二距离的第二位置移动，其中，所述第二距离小于所述第一距离；介电层，设置在所述下拉电极上方；以及接触止挡块，设置在所述介电层上的对应于所述岛状物的位置处。
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