[发明专利]喷头支撑结构

摘要

本公开内容的实施方式大体提供用于在处理腔室中支撑气体分配喷头的设备和方法。在一个实施方式中，用于真空腔室的气体分配喷头包括：矩形主体，所述矩形主体具有四个侧面、第一主表面和与第一主表面相对的第二主表面、在第一主表面和第二主表面之间的在纵向方向上穿过主体形成的多个气体通道；中心支撑构件，所述中心支撑构件耦接至在其中心区域中的主体；和中间支撑构件，所述中间支撑构件耦接至在中心区域和侧面之间的主体。

主权项

1.一种设备，包括：气体分配喷头，所述气体分配喷头包括矩形主体，所述矩形主体具有四个侧面、第一主表面和与所述第一主表面相对的第二主表面、和在所述第一主表面和第二主表面之间的在纵向方向上穿过所述主体形成的多个气体通道；多个中心支撑构件，所述多个中心支撑构件耦接至在其中心区域中的所述主体；和多个中间支撑构件，所述多个中间支撑构件耦接至在所述中心区域和所述四个侧面之一之间的所述主体，其中所述中心支撑构件和所述中间支撑构件的一者或两者的至少一部分包括悬架特征结构，所述悬架特征结构包括接口主体，所述接口主体位于所述气体分配喷头外侧，其中所述接口主体包括接收紧固件的开口，所述紧固件设置在所述多个气体通道的第一气体通道中。