[发明专利]用于原子力显微的紧凑型探头以及包括这种探头的原子力显微镜有效
| 申请号： | 201680052148.7 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN108027390B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | B·瓦尔特;M·福谢 | 申请（专利权）人： | 国家科学研究中心;VMICRO公司 |
| 主分类号： | G01Q10/04 | 分类号： | G01Q10/04;G01Q60/38;G01Q70/10 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于原子力显微的探头，所述探头包括用于原子力显微的探针(PT1)，所述探针朝向称为纵向方向(y)的方向并且在所述纵向方向上从基底(S1)的边缘(B)凸出，其特征在于，所述探针设置在往复器(PJ1)的一端，所述往复器至少经由称为支撑结构的第一结构(ET)和第二结构(R、RA)附接至所述基底，至少所述第一支撑结构为柔性结构，其在垂直于所述纵向方向的称为横向方向(x)的方向上延伸，并且通过在所述横向方向上的至少一个机械连结锚定至基底，所述支撑结构适于使往复器能够在纵向方向上移动。本发明还涉及包括至少一个这种探头的原子力显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 原子 显微 紧凑型 探头 以及 包括 这种 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种用于原子力显微的探头，其包括用于原子力显微的探针(PT1)，所述探针朝向称为纵向方向(y)的方向并且在所述纵向方向上从基底(S1)的边缘(B)凸出，所述探针设置在往复器(PJ1)的一端，所述往复器至少经由第一结构(ET)和第二结构(R、RA)附接至所述基底，所述第一结构(ET)和所述第二结构(R、RA)称为支撑结构，其特征在于：-所述支撑结构均锚定至基底并且在所述纵向方向上在所述往复器的不同位置连结至所述往复器；-至少所述第一支撑结构主要在垂直于所述纵向方向的称为横向方向(x)的方向上延伸，并且通过在所述横向方向上的至少一个机械连结锚定至基底，纵向方向和横向方向形成平行于基底的主表面的平面；-所述支撑结构在纵向方向上形变，使得往复器能够在相同的方向上位移。
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