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[发明专利]用于原子力显微的紧凑型探头以及包括这种探头的原子力显微镜-CN201680052148.7有效
发明人： B·瓦尔特;M·福谢 -专利权人：国家科学研究中心;VMICRO公司
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： G01Q10/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于原子力显微的探头，所述探头包括用于原子力显微的探针(PT1)，所述探针朝向称为纵向方向(y)的方向并且在所述纵向方向上从基底(S1)的边缘(B)凸出，其特征在于，所述探针设置在往复器(PJ1)的一端，所述往复器至少经由称为支撑结构的第一结构(ET)和第二结构(R、RA)附接至所述基底，至少所述第一支撑结构为柔性结构，其在垂直于所述纵向方向的称为横向方向(x)的方向上延伸，并且通过在所述横向方向上的至少一个机械连结锚定至基底，所述支撑结构适于使往复器能够在纵向方向上移动。本发明还涉及包括至少一个这种探头的原子力显微镜。
用于原子显微紧凑型探头以及包括这种显微镜

[发明专利]提升装置和系统-CN201180009065.7有效
发明人： M·福谢;M-L·容卡斯;D-A·布吕洛特 -专利权人：安究亨特利梅戈格公司
申请日： 2011-01-06 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： B66C13/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于提升系统的提升装置。所述装置包括：a）马达，所述马达适合提供提升力；b）至少一个连接器，所述连接器操作地连接至所述马达，所述连接器适合将承载元件连接至所述马达；c）信息接收器，所述信息接收器用于接收关于所述承载元件的负载极限信息；d）马达控制器，所述马达控制器电联接至所述马达和所述信息接收器，其中所述马达控制器适合基于由所述信息接收器接收的负载极限信息而限制所述马达的提升力。
提升装置系统