[发明专利]移除接着剂的方法与装置

摘要

揭示一种自光罩上去除光罩与薄层接着的接着剂的装置。接着剂去除装置包括：激光照射部，向形成于上述光罩与上述薄层之间的接着剂层照射激光束；控制部，控制上述激光束的波长、波形及能量密度，以便借由照射上述激光束而去除上述接着剂层；以及拍摄部，对照射上述激光束的区域进行监控。

主权项

一种接着剂去除装置，其是自光罩上去除将所述光罩与薄层连接着的接着剂的装置，其特征在于所述接着剂去除装置包括：激光照射部，向形成于所述光罩与所述薄层之间的接着剂层照射激光束；控制部，控制所述激光束的波长、波形及能量密度，以便借由照射所述激光束而去除所述接着剂层；以及拍摄部，对照射所述激光束的区域进行监控。