[发明专利]移除接着剂的方法与装置

权利要求书

1.一种接着剂去除装置，其是自光罩上去除将所述光罩与薄层连接着的接着剂的装置，其特征在于所述接着剂去除装置包括：

激光照射部，向形成于所述光罩与所述薄层之间的接着剂层照射激光束；

控制部，控制所述激光束的波长、波形及能量密度，以便借由照射所述激光束而去除所述接着剂层；以及

拍摄部，对照射所述激光束的区域进行监控。

2.根据权利要求1所述的接着剂去除装置，其中所述拍摄部包括：照明光源，照射照明光；以及相机，对自照射所述激光束的区域反射的所述照明光进行拍摄。

3.根据权利要求2所述的接着剂去除装置，还包括镜面，所述镜面供所述照明光及所述激光束入射，使所述照明光及所述激光束中的任一者透射且反射所述照明光及所述激光束中的另一者。

4.根据权利要求2所述的接着剂去除装置，其中所述照明光的波长与所述激光束的波长不同。

5.根据权利要求2所述的接着剂去除装置，其中所述拍摄部包括滤光器，所述滤光器使入射至所述拍摄部的光出射时使与所述照明光的波长具有相同波长的光透射且遮蔽与所述照明光的波长具有不同波长的光。

6.根据权利要求1所述的接着剂去除装置，其中所述激光束的波长为193nm至290nm。

7.根据权利要求2所述的接着剂去除装置，其中所述照明光的波长为570nm至770nm。

8.根据权利要求2所述的接着剂去除装置，更包括辅助拍摄部，所述辅助拍摄部设置至所述激光束的行进路径的外部，对在所述接着剂层及所述光罩上散射的所述照明光进行拍摄。

9.根据权利要求8所述的接着剂去除装置，其中所述辅助拍摄部包括：滤光器，遮蔽所述激光束且使所述照明光透射；以及相机，对透射所述滤光器的所述照明光进行拍摄。

10.一种接着剂去除方法，其是自光罩上去除将所述光罩与薄层连接着的接着剂的方法，其特征在于所述接着剂去除方法包括：

控制激光束的波长、波形及能量密度，以便借由照射所述激光束而去除所述接着剂层；

向形成于所述光罩与所述薄层之间的接着剂层照射激光束；以及

获取所述激光束照射的区域的拍摄图像。

11.根据权利要求10所述的接着剂去除方法，包括：当在所述拍摄图像中判断为已去除所述接着剂层的情形时，变更所述激光束照射的区域。

12.根据权利要求10所述的接着剂去除方法，其中获取所述拍摄图像包括：向所述激光束照射的区域照射照明光；以及对自所述激光束照射的区域反射的所述照明光进行拍摄。

13.根据权利要求12所述的接着剂去除方法，其中所述照明光的波长与所述激光束的波长不同。

14.根据权利要求12所述的接着剂去除方法，其中获取所述拍摄图像包括：

设置至所述激光束的行径路径的外部，对在所述接着剂层及所述光罩上散射的所述照明光进行拍摄。

15.根据权利要求12所述的接着剂去除方法，包括：在所述激光束的行进路径中，利用镜面使所述照明光及所述激光束中的任一者透射且反射所述照明光及所述激光束中的另一者。

16.根据权利要求13所述的接着剂去除方法，其中所述激光束的波长为193nm至290nm，所述照明光的波长为570nm至770nm。