[发明专利]正型感光性树脂组合物有效
申请号: | 201680050930.5 | 申请日: | 2016-10-19 |
公开(公告)号: | CN108027555B | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 古江健太郎;宫石由起 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/023;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/22 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 李照明;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供兼有高灵敏度、高精细、高密合性,即使在250℃那样的高温固化工序后也能够保持黑色、保证高遮光性的正型感光性树脂组合物。本发明的正型感光性树脂组合物含有(A)基料树脂、(B)重氮醌化合物、和(C)选自溶剂黑27~47的颜色指数所规定的黑色染料中的至少1种黑色染料。黑色染料(C)优选为溶剂黑27、29或34的颜色指数所规定。本发明的组合物可以很好地用于正型放射线光刻中,可以在形成有机EL元件的隔壁和绝缘膜时使用。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】:
1.一种正型感光性树脂组合物,含有(A)基料树脂、(B)重氮醌化合物、和(C)选自溶剂黑27~47的颜色指数所规定的黑色染料中的至少1种黑色染料。
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