[发明专利]正型感光性树脂组合物有效

专利信息
申请号: 201680050930.5 申请日: 2016-10-19
公开(公告)号: CN108027555B 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 古江健太郎;宫石由起 申请(专利权)人: 昭和电工株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/023;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/22
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 李照明;段承恩
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供兼有高灵敏度、高精细、高密合性,即使在250℃那样的高温固化工序后也能够保持黑色、保证高遮光性的正型感光性树脂组合物。本发明的正型感光性树脂组合物含有(A)基料树脂、(B)重氮醌化合物、和(C)选自溶剂黑27~47的颜色指数所规定的黑色染料中的至少1种黑色染料。黑色染料(C)优选为溶剂黑27、29或34的颜色指数所规定。本发明的组合物可以很好地用于正型放射线光刻中,可以在形成有机EL元件的隔壁和绝缘膜时使用。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合
【主权项】:
1.一种正型感光性树脂组合物,含有(A)基料树脂、(B)重氮醌化合物、和(C)选自溶剂黑27~47的颜色指数所规定的黑色染料中的至少1种黑色染料。
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