[发明专利]衬底搬送机器人及衬底处理系统

摘要

衬底搬送机器人(1)的控制器件(12)是使机器臂(4)及衬底保持装置(7)实施掌片部件进入动作、衬底接收动作以及衬底载置动作。衬底保持装置(7)构成为能够切换第1运转状态与第2运转状态，该第1运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在上下方向，该第2运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在从上下方向偏离的位置且将单个掌片部件设为可进入到衬底载置构造。无论衬底载置构造的种类为何，都能够缩短衬底搬送时的作业时间。

主权项

1.一种衬底搬送机器人，用于保持并搬送衬底，且具备机器臂、安装于所述机器臂的衬底保持装置以及用于控制所述机器臂及所述衬底保持装置的控制装置；且所述衬底保持装置具有：一对掌片部件，配置在上下方向，且能够分别保持所述衬底；以及掌片升降器件，用于使所述一对掌片部件的其中一个相对于所述一对掌片部件的另一个在上下方向上相对移动；所述控制器件使所述机器臂及所述衬底保持装置实施如下动作：掌片部件进入动作，将所述一对掌片部件的其中一个设为衬底保持状态，将所述一对掌片部件的另一个设为衬底非保持状态，使所述一对掌片部件进入至具有上段及下段的衬底载置构造；衬底接收动作，将载置于所述上段及所述下段的其中一段的所述衬底用处于所述衬底非保持状态的所述掌片部件来接收；以及衬底载置动作，将处于所述衬底保持状态的所述掌片部件的所述衬底载置于所述上段及所述下段的另一段；所述衬底保持装置构成为能够切换第1运转状态与第2运转状态，该第1运转状态是将所述一对掌片部件配置于上下方向，该第2运转状态是将所述一对掌片部件配置于从上下方向偏离的位置且将单个所述掌片部件设为能够进入至所述衬底载置构造。