[发明专利]MEMS传感器有效
| 申请号： | 201680036437.8 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107771287B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 维莱-佩卡·吕特克宁 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 康建峰;杨华<国际申请>=PCT/IB2 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量线性加速度的具有可移动部件和固定部件的MEMS传感器。MEMS传感器包括布置在提供用于MEMS传感器的密封的壁的公共框架结构之内的至少两个相互独立的差分传感器元件。相互独立的差分传感器元件成对地配置成执行线性加速度的双差分检测。MEMS传感器包括公共锚定区域，所述至少两个成对布置的差分传感器元件锚定至公共锚定区域。公共锚定区域位于成对地配置的差分传感器元件的形心处。还提供了MEMS传感器的自检能力。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量线性加速度的具有可移动部件和固定部件的MEMS传感器，所述MEMS传感器包括布置在公共框架结构之内的至少两个相互独立的差分传感器元件，所述框架结构提供用于所述MEMS传感器的密封的壁，其中，所述至少两个相互独立的差分传感器元件成对地配置成执行所述线性加速度的双差分检测，其特征在于，所述MEMS传感器包括：/n公共锚定区域，所述成对地配置的差分传感器元件的转子质量块和定子结构锚定至所述公共锚定区域，所述公共锚定区域位于所述成对地配置的差分传感器元件的形心处。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680036437.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：方法
- 下一篇：用于集成电路监视和防止电迁移失效的方法和装置
