[发明专利]用于镜片覆层的装置、方法和用途

摘要

提出了用于对镜片进行覆层的一种装置、一种方法以及一种用途，待覆层的镜片成对地布置在平行的管状靶材上方，这样它们分别地覆盖靶材的均质沉积区域和不均质沉积区域，并且镜片旋转，所以实现了特别均匀的覆层。

主权项

一种用于通过溅射，特别是磁控溅射，对镜片(2)进行覆层的装置(1)，具有至少一个靶材(4)，并且具有用于保持至少一个覆层的镜片(2)的支架(10)，所述靶材(4)设计为细长的或管状的，并且所述镜片(2)能够围绕中心的和/或与所述镜片(2)相交的轴线(A)旋转，其特征在于，所述轴线(A)相对于所述靶材(4)固定，和/或所述镜片(2)在相关的所述靶材(4)处布置于在覆层期间出现的移除速率曲线(P)的在所述靶材(4)的纵向延伸(L)中至少基本上均质、即变化小于5％的区域(B1)中，以及在所述靶材(4)的纵向延伸(L)中不均质的区域(B2)中，并且所述镜片能够相对于所述靶材(4)围绕固定的轴线(A)旋转，和/或所述支架(10)能够与能旋转地保持的至少两个镜片(2)一起更换，和/或所述靶材(4)的外直径在所述靶材(4)的纵向延伸(L)上变化，并且特别地朝向细长的所述靶材(4)的端部减小。