[发明专利]用于镜片覆层的装置、方法和用途

权利要求书

1.一种用于通过溅射对镜片(2)进行覆层的装置(1)，

具有至少一个靶材(4)，并且

具有用于保持至少一个覆层的镜片(2)的支架(10)，

所述靶材(4)设计为细长的或管状的，并且所述镜片(2)能够围绕中心的和/或与所述镜片(2)相交的轴线(A)旋转，

其特征在于，

所述镜片(2)在相关的所述靶材(4)处布置于在覆层期间出现的移除速率曲线(P)的在所述靶材(4)的纵向延伸(L)中至少基本上均质、即变化小于5％的区域(B1)中，以及在所述靶材(4)的纵向延伸(L)中不均质的区域(B2)中，并且所述镜片能够相对于所述靶材(4)围绕固定的轴线(A)旋转，和/或

所述靶材(4)的外直径在所述靶材(4)的纵向延伸(L)上变化，并且朝向细长的所述靶材(4)的端部减小。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在覆层期间所述镜片(2)既位于所述靶材(4)的移除速率曲线(P)的至少基本上均质的第一区域(B1)中，还位于不均质的第二区域(B2)中。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述镜片(2)偏心地位于所述靶材(4)上方。

4.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述支架(10)将所述镜片(2)保持在相对于所述靶材(4)固定的位置中。

5.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，两个镜片(2)相对于所述靶材(4)的纵向延伸(L)对称地定位。

6.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述支架(10)将两个镜片(2)保持在所述靶材(4)的相对端部区域上方。

7.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述靶材(4)能够旋转。

8.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述装置(1)具有两个细长的和/或管状的靶材(4)，所述靶材彼此平行地伸长和/或能够交替地作为阴极和阳极被操作。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，四个镜片(2)位于或者被定位于所述靶材(4)上方。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，在每种情况中两个镜片(2)在一个靶材(4)上方。

11.根据权利要求9或10所述的装置，其特征在于，一个或多个所述镜片(2)的轴线(A)横向于或者垂直于靶材平面和/或所述靶材(4)的共同平面而伸长。

12.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述支架(10)保持能旋转地耦合的多个镜片(2)。

13.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述支架(10)设计用于保持多个镜片(2)，其中所述镜片(2)能够围绕各自的轴线(A)旋转。

14.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述装置(1)被配置为使得所述支架(10)在被插入或推入所述装置(1)和/或其覆层室(7)中时就驱动或传动装置而言能够或者自动地与所述装置(1)的驱动器(11)耦合。

15.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述支架(10)以固定的重心和/或能中心旋转的方式保持所述镜片(2)。

16.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述镜片(2)的轴线(A)与所分配的靶材(4)相交。

17.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述轴线(A)相对于所述靶材(4)固定。