[发明专利]压电振子的制造方法有效
| 申请号： | 201680034000.0 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107710602B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 高桥星太;开田弘明;牧野贤誉;新家博之 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压电振子(1)的制造方法包括：经由导电性粘合剂(340、342)将压电振动元件(100)安装于基座部件(300)；将安装于基座部件(300)的压电振动元件(100)在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；通过利用离子束实施的蚀刻进行压电振动元件(100)的频率调整；以及经由接合材料(350)将罩部件(200)与基座部件(300)接合以密封封闭压电振动元件(100)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压电振子的制造方法，其中，包括：(a)经由导电性粘合剂将压电振动元件安装于基座部件；(b)将安装于所述基座部件的压电振动元件在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；(c)通过利用离子束实施的蚀刻来进行所述压电振动元件的频率调整；以及(d)经由接合材料将罩部件与所述基座部件接合以密封封闭所述压电振动元件。
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