[发明专利]压电振子的制造方法有效
| 申请号： | 201680034000.0 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107710602B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 高桥星太;开田弘明;牧野贤誉;新家博之 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 制造 方法 | ||
1.一种压电振子的制造方法，其中，包括：
(a)经由导电性粘合剂将压电振动元件安装于基座部件；
(b)将安装于所述基座部件的压电振动元件在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；
(c)通过利用离子束实施的蚀刻来进行所述压电振动元件的频率调整；以及
(d)经由接合材料将罩部件与所述基座部件接合以密封封闭所述压电振动元件。
2.根据权利要求1所述的压电振子的制造方法，其中，
所述(b)包括：将所述压电振动元件在40℃以上121℃以下的温度并且70％RH以上95％RH以下的湿度的环境中维持30分钟以上168小时以下的时间。
3.根据权利要求1所述的压电振子的制造方法，其中，
所述基座部件包括形成在供所述压电振动元件安装的上表面的连接电极、和从该连接电极朝向所述基座部件的上表面的外缘引出的引出电极，
所述(a)包括：经由所述导电性粘合剂将所述压电振动元件与所述连接电极电连接。
4.根据权利要求2所述的压电振子的制造方法，其中，
所述基座部件包括形成在供所述压电振动元件安装的上表面的连接电极、和从该连接电极朝向所述基座部件的上表面的外缘引出的引出电极，
所述(a)包括：经由所述导电性粘合剂将所述压电振动元件与所述连接电极电连接。
5.根据权利要求1所述的压电振子的制造方法，其中，
所述压电振动元件包括压电基板和形成于所述压电基板的激励电极，
所述(c)包括：通过利用离子束实施的蚀刻来修整所述激励电极。
6.根据权利要求2所述的压电振子的制造方法，其中，
所述压电振动元件包括压电基板和形成于所述压电基板的激励电极，
所述(c)包括：通过利用离子束实施的蚀刻来修整所述激励电极。
7.根据权利要求3所述的压电振子的制造方法，其中，
所述压电振动元件包括压电基板和形成于所述压电基板的激励电极，
所述(c)包括：通过利用离子束实施的蚀刻来修整所述激励电极。
8.根据权利要求4所述的压电振子的制造方法，其中，
所述压电振动元件包括压电基板和形成于所述压电基板的激励电极，
所述(c)包括：通过利用离子束实施的蚀刻来修整所述激励电极。
9.根据权利要求5所述的压电振子的制造方法，其中，
所述压电基板是石英基板。
10.根据权利要求6所述的压电振子的制造方法，其中，
所述压电基板是石英基板。
11.根据权利要求7所述的压电振子的制造方法，其中，
所述压电基板是石英基板。
12.根据权利要求8所述的压电振子的制造方法，其中，
所述压电基板是石英基板。
13.根据权利要求1～12中任意一项所述的压电振子的制造方法，其中，
所述罩部件是具有与所述基座部件对置的凹部的盖。
14.根据权利要求1～12中任意一项所述的压电振子的制造方法，其中，
所述接合材料是树脂粘合剂。
15.根据权利要求13所述的压电振子的制造方法，其中，
所述接合材料是树脂粘合剂。
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