[发明专利]压电振子的制造方法

说明书

压电振子(1)的制造方法包括：经由导电性粘合剂(340、342)将压电振动元件(100)安装于基座部件(300)；将安装于基座部件(300)的压电振动元件(100)在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；通过利用离子束实施的蚀刻进行压电振动元件(100)的频率调整；以及经由接合材料(350)将罩部件(200)与基座部件(300)接合以密封封闭压电振动元件(100)。

技术领域

本发明涉及压电振子的制造方法。

背景技术

作为振荡装置、带通滤波器等所使用的压电振子的制造方法，已知例如如专利文献1所记载的那样，经由导电性粘合剂将压电振动元件(例如石英片)安装在基板上，进行压电振动元件的频率调整以具备所希望的频率特性，之后，通过凹状的金属罩将压电振动元件密封封闭在内部空间，由此制造压电振子。

然而，以往，存在如下情况：在压电振动元件的封闭工序的制造工艺或者完成后的产品使用时等，由于密封封闭的内部空间的湿度而引起导电性粘合剂的物性变化，由此压电振子的频率特性变动。这样的频率特性的变动在进行了用于得到所希望的频率特性的频率调整的工序之后发生，另外，频率特性的变动量根据每个产品存在偏差而难以预测，所以有不容易制造具备所希望的频率特性的压电振子的情况。

专利文献1：日本特开2012－191648号公报

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于容易地制造具备所希望的频率特性的压电振子。

本发明的一侧面所涉及的压电振子的制造方法包括：(a)经由导电性粘合剂将压电振动元件安装于基座部件；(b)将安装于基座部件的压电振动元件在与周围相比高温以及高湿的环境中维持规定时间；(c)通过利用离子束实施的蚀刻来进行压电振动元件的频率调整；以及(d)经由接合材料将罩部件与基座部件接合以密封封闭压电振动元件。

根据上述构成，将安装于基板上的压电振动元件维持在高温以及高湿的环境中，之后进行压电振动元件的频率调整。由此，能够使频率特性的变动显现化，并考虑这样的显现化后的每个产品的频率特性的偏差，来进行用于得到所希望的频率特性的压电振动元件的频率调整。因此，能够容易地制造具备所希望的频率特性的压电振子。

也可以在上述压电振子的制造方法中，(b)包括：将压电振动元件在40℃以上121℃以下的温度并且70％RH以上95％RH以下的湿度的环境中维持30分钟以上168小时以下的时间。

也可以在上述压电振子的制造方法中，基座部件包括形成在供压电振动元件安装的上表面的连接电极、和从连接电极朝向基座部件的上表面的外缘引出的引出电极，(a)包括经由导电性粘合剂将压电振动元件与连接电极电连接。

也可以在上述压电振子的制造方法中，压电振动元件包括压电基板和形成于压电基板的激励电极，(c)包括通过利用离子束实施的蚀刻来修整激励电极。

也可以在上述压电振子的制造方法中，压电基板是石英基板。

也可以在上述压电振子的制造方法中，罩部件是具有与基座部件对置的凹部的盖。

也可以在上述压电振子的制造方法中，接合材料是树脂粘合剂。

据此，能够抑制树脂粘合剂所引起的湿气的影响。

根据本发明，能够容易地制造具备所希望的频率特性的压电振子。

附图说明

图1是本发明的一实施方式所涉及的压电振子的分解立体图。

图2是图1的II－II线剖视图。

图3是表示本发明的一实施方式所涉及的压电振子的制造方法的流程图。

图4是表示用于说明本发明的一实施方式所涉及的压电振子的制造方法的实验例的图。