[发明专利]感放射线性组合物

摘要

本发明的课题是提供下述感放射线性组合物，其将显示酚醛塑料交联反应性的硅氧烷聚合物作为基础树脂，其分辨率优异，且能够高精度地形成所期望形状的图案。本发明的解决方法是一种感放射线性组合物，其包含作为硅烷的水解性硅烷、其水解物或其水解缩合物、以及光产酸剂，该水解性硅烷包含式(1)和式(2)所示的水解性硅烷。R1aR2bSi(R3)4‑(a+b)式(1)〔式(1)中，R1是式(1‑2)所示的有机基团，且R1通过Si‑C键或Si‑O键与硅原子结合。R2表示有机基团。R3表示水解性基团。〕R7cR8dSi(R9)4‑(c+d)式(2)〔式(2)中，R7是式(2‑1)所示的有机基团，且R7通过Si‑C键与硅原子结合。R8是有机基团，且R8通过Si‑C键与硅原子结合。R9表示水解性基团。〕

主权项

一种感放射线性组合物，包含：作为硅烷的水解性硅烷、其水解物或其水解缩合物，以及光产酸剂，该水解性硅烷包含式(1)所示的水解性硅烷和式(2)所示的水解性硅烷，R1aR2bSi(R3)4‑(a+b)  式(1)式(1)中，R1是式(1‑2)所示的有机基团，且R1通过Si‑C键或Si‑O键与硅原子结合，R2是烷基、芳基、卤化烷基、卤化芳基、烷氧基芳基、烯基、或具有环氧基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、巯基、氨基或氰基的有机基团、或它们的组合，且R2通过Si‑C键与硅原子结合，R3表示烷氧基、酰氧基或卤素，a表示1，b表示0～2的整数，a+b表示1～3的整数，式(1‑2)中，R4表示氢原子、碳原子数1～10的烷基、或酰基，R5表示氢原子、碳原子数1～10的烷基、或具有碳原子数1～10的烷氧基的碳原子数1～10的烷基，R6表示碳原子数1～10的烷基，n1表示0～10的整数，n2表示0或1，n3表示满足1≤n3≤5的整数，n4表示满足0≤n4≤4的整数，n5表示满足0≤n5≤4的整数，n3+n4+n5表示满足1≤n3+n4+n5≤5的整数，而且，在n1表示1～10的整数时，k1表示与硅原子的结合端，在n1表示0且n2表示1时，k2表示与硅原子的结合端，在n1和n2均表示0时，k3表示与硅原子的结合端，R7cR8dSi(R9)4‑(c+d)  式(2)式(2)中，R7是式(2‑1)或式(2‑2)所示的有机基团，且R7通过Si‑C键与硅原子结合，R8是烷基、芳基、卤化烷基、卤化芳基、烷氧基芳基、烯基、或具有环氧基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、巯基、氨基或氰基的有机基团、或它们的组合，且R8通过Si‑C键与硅原子结合，R9表示烷氧基、酰氧基或卤素，c表示1，d表示0～2的整数，c+d表示1～3的整数，式(2‑1)中，R10表示碳原子数1～10的烷基，R11表示氢原子、碳原子数1～10的烷基、或具有碳原子数1～10的烷氧基的碳原子数1～10的烷基，n6表示满足0≤n6≤3的整数，n7表示满足1≤n7≤3的整数，n6+n7表示满足1≤n6+n7≤4的整数，n8表示满足0≤n8≤10的整数，n9表示0或1，而且，在n8表示1～10的整数时，k4表示与硅原子的结合端，在n8表示0且n9表示1时，k5表示与硅原子的结合端，在n8和n9均为0时，k6表示与硅原子的结合端，式(2‑2)中，R112表示羟基、卤素原子、环氧基、氧杂环丁烷基、酰氧基、(甲基)丙烯酰基、甲硅烷基、碳原子数1～10的烷氧基、具有碳原子数1～10的烷氧基的碳原子数1～10的烷氧基、或它们的组合，R113表示可以包含氧原子的碳原子数1～10的亚烷基或碳原子数6～40的亚芳基，n10表示1～4的整数，k7表示与硅原子的结合端。