[发明专利]易于位置调节的电子显微镜用电子枪及包括其的电子显微镜

摘要

本发明涉及一种易于位置调节的电子枪及包括其的电子显微镜，电子枪改善了真空结构，以便在电子枪的灯丝块(filament block)或电子尖端的中心轴与阳极及聚焦透镜的中心轴机械地错位时，即使不具备用于保持真空的波纹管，也能够使得电子枪的灯丝块或电子尖端移动，为了使得电子束的中心轴与阳极板或二次阳极对齐，阳极板与维纳尔圆柱电极相面对，二次阳极与场发射电子源及一次阳极并排配置，即使不设置包围并密封电子束产生部的波纹管，也能够移动双重O环密封部或磁性流体密封部上的上面平板，从而不仅电子束排列容易，而且结构简化、组装以及分解容易，使用能够再次使用的橡胶O环，并且与不锈钢相比，在保持超高真空方面上没有差别，将相对磁导率值大的软钢用作腔室，从而即使不设置高导磁合金或坡莫合金等包围电子束产生部的追加的构成，也能够防止杂散磁场流入，从而不仅制造容易，而且因没有采用复杂的构成而具有经济性。

主权项

1.一种易于位置调节的电子显微镜用电子枪，所述电子枪包括：管状侧面部，其设置有第一真空排气管；平板上面部，其与所述管状侧面部的上部边缘面以介入有双重O型环的形式相接触，在平板上面部的中心设置有朝向管状空间内部的电子束产生部；第一下面部，其作为与所述管状侧面部的下部内面相接触的内部平板，在与所述电子束产生部的电子发射方向相面对的位置设置有电子束通过用孔；管状侧面延长部，其经过所述管状侧面部和所述第一下面部相接触的位置并延长，同时设置有第二真空排气管；第二下面部，其作为与所述管状侧面延长部的下部内面相接触的内部平板，在与所述第一下面部的电子束通过用孔相面对的位置设置有电子束通过用孔，所述管状侧面部、所述平板上面部及所述第一下面部形成第一真空室，所述第一下面部、所述管状侧面延长部及所述第二下面部形成第二真空室，所述双重O型环包括第一O型环和第二O型环，第一O型环接触于所述边缘面的里侧，第二O型环接触于所述边缘面的外侧，并且设置有对所述第一O型环和所述第二O型环之间的空间进行连接的多个第三真空排气管。