[发明专利]易于位置调节的电子显微镜用电子枪及包括其的电子显微镜

权利要求书

1.一种易于位置调节的电子显微镜用电子枪，所述电子枪包括：

管状侧面部，其设置有第一真空排气管；

平板上面部，其与所述管状侧面部的上部边缘面以介入有双重O型环的形式相接触，在平板上面部的中心设置有朝向管状空间内部的电子束产生部；

第一下面部，其作为与所述管状侧面部的下部内面相接触的内部平板，在与所述电子束产生部的电子发射方向相面对的位置设置有电子束通过用孔；

管状侧面延长部，其经过所述管状侧面部和所述第一下面部相接触的位置并延长，同时设置有第二真空排气管；

第二下面部，其作为与所述管状侧面延长部的下部内面相接触的内部平板，在与所述第一下面部的电子束通过用孔相面对的位置设置有电子束通过用孔，

所述管状侧面部、所述平板上面部及所述第一下面部形成第一真空室，

所述第一下面部、所述管状侧面延长部及所述第二下面部形成第二真空室，

所述双重O型环包括第一O型环和第二O型环，第一O型环接触于所述边缘面的里侧，第二O型环接触于所述边缘面的外侧，并且设置有对所述第一O型环和所述第二O型环之间的空间进行连接的多个第三真空排气管。

2.根据权利要求1所述的易于位置调节的电子显微镜用电子枪，其中，

所述多个第三真空排气管与所述第二真空室相连接。

3.根据权利要求1所述的易于位置调节的电子显微镜用电子枪，其中，

所述平板上面部还包括水平移动用把手。

4.根据权利要求1所述的易于位置调节的电子显微镜用电子枪，其中，

所述电子束产生部是场发射电子源，

所述管状侧面部、所述平板上面部及所述管状侧面延长部的材料是碳重量比为0.2％以下的软钢，

为了防止氧化或腐蚀，在所述软钢的表面形成有镍或铬抗氧化膜。

5.根据权利要求1所述的易于位置调节的电子显微镜用电子枪，其中，

所述第一真空室和所述第二真空室的真空度相互不同。

6.一种电子显微镜，其包括权利要求1至5中任意一项所述的电子显微镜用电子枪。